Beschrijving
Semicera's met SiC gecoate grafiet susceptors zijn ontworpen met behulp van hoogwaardige grafietsubstraten, die zorgvuldig zijn gecoat met siliciumcarbide (SiC) via geavanceerde Chemical Vapour Deposition (CVD) processen. Dit innovatieve ontwerp zorgt voor uitzonderlijke weerstand tegen thermische schokken en chemische degradatie, waardoor de levensduur van de met SiC gecoate grafiet susceptor aanzienlijk wordt verlengd en betrouwbare prestaties tijdens het hele halfgeleiderproductieproces worden gegarandeerd.
Belangrijkste kenmerken:
1. Superieure thermische geleidbaarheidDe met SiC gecoate grafiet susceptor vertoont een uitstekende thermische geleidbaarheid, wat cruciaal is voor een efficiënte warmteafvoer tijdens de productie van halfgeleiders. Deze eigenschap minimaliseert thermische gradiënten op het waferoppervlak, waardoor een uniforme temperatuurverdeling wordt bevorderd die essentieel is voor het bereiken van de gewenste halfgeleidereigenschappen.
2. Robuuste weerstand tegen chemische en thermische schokkenDe SiC-coating biedt een formidabele bescherming tegen chemische corrosie en thermische schokken, waardoor de integriteit van de grafiet susceptor behouden blijft, zelfs in zware verwerkingsomgevingen. Deze verbeterde duurzaamheid vermindert de uitvaltijd en verlengt de levensduur, wat bijdraagt aan een hogere productiviteit en kostenefficiëntie in halfgeleiderproductiefaciliteiten.
3. Maatwerk voor specifieke behoeftenOnze SiC-gecoate grafietsusceptoren kunnen worden aangepast aan specifieke eisen en voorkeuren. We bieden een reeks aanpassingsmogelijkheden, waaronder maataanpassingen en variaties in de laagdikte, om ontwerpflexibiliteit en geoptimaliseerde prestaties voor verschillende toepassingen en procesparameters te garanderen.
Toepassingen:
ToepassingenSemicera SiC-coatings worden gebruikt in verschillende stadia van de halfgeleiderproductie, waaronder:
1. -LED-chipfabricage
2. -Polysiliciumproductie
3. - Halfgeleiderkristalgroei
4. -Silicium- en SiC-epitaxie
5. -Thermische oxidatie en diffusie (TO&D)
Technische specificaties:
