GaAs-substraten zijn onderverdeeld in geleidende en semi-isolerende substraten, die veel worden gebruikt in laser (LD), halfgeleider light-emitting diode (LED), nabij-infrarood laser, quantum well high-power laser en hoog rendement zonnepanelen.HEMT- en HBT-chips voor radar-, microgolf-, millimetergolf- of ultrasnelle computers en optische communicatie;Radiofrequentieapparaten voor draadloze communicatie, 4G, 5G, satellietcommunicatie, WLAN.
Onlangs hebben galliumarsenidesubstraten ook grote vooruitgang geboekt op het gebied van mini-LED, micro-LED en rode LED, en worden ze veel gebruikt in draagbare AR/VR-apparaten.
| Diameter | 50 mm |75 mm |100 mm |150 mm |
| Groeimethode | LECIk denk dat dit het geval is |
| Wafeldikte | 350 um ~ 625 um |
| Oriëntatie | <100> / <111> / <110> of andere |
| Geleidend type | P – type / N – type / Semi-isolerend |
| Type/Doteringsmiddel | Zn / Si / ongedoteerd |
| Concentratie van dragers | 1E17 ~ 5E19 cm-3 |
| Weerstand bij RT | ≥1E7 voor SI |
| Mobiliteit | ≥4000 |
| EPD (ets putdichtheid) | 100 ~ 1E5 |
| TTV | ≤ 10 µm |
| Boeg / Warp | ≤ 20 µm |
| Oppervlakteafwerking | DSP/SSP |
| Lasermarkering |
|
| Cijfer | Epi-gepolijste kwaliteit / mechanische kwaliteit |
