Wafelhanteringsarmis een belangrijke uitrusting die wordt gebruikt in het productieproces van halfgeleiders voor het hanteren, overbrengen en positionerenwafels. Het bestaat meestal uit een robotarm, een grijper en een besturingssysteem, met nauwkeurige bewegings- en positioneringsmogelijkheden.Wapens voor het hanteren van wafelsworden veel gebruikt in verschillende schakels van de halfgeleiderproductie, inclusief processtappen zoals het laden van wafers, reinigen, dunne-filmafzetting, etsen, lithografie en inspectie. De precisie, betrouwbaarheid en automatiseringsmogelijkheden zijn essentieel om de kwaliteit, efficiëntie en consistentie van het productieproces te garanderen.
De belangrijkste functies van de wafelhanteringsarm zijn onder meer:
1. Waferoverdracht: De wafelhanteringsarm kan wafels nauwkeurig van de ene locatie naar de andere overbrengen, bijvoorbeeld door wafels uit een opslagrek te halen en in een verwerkingsapparaat te plaatsen.
2. Positionering en oriëntatie: De wafelhanteringsarm kan de wafel nauwkeurig positioneren en oriënteren om een correcte uitlijning en positie te garanderen voor daaropvolgende verwerkings- of meetoperaties.
3. Vastklemmen en loslaten: armen voor het hanteren van wafels zijn meestal uitgerust met grijpers die wafels veilig kunnen vastklemmen en loslaten wanneer dat nodig is om een veilige overdracht en hantering van wafels te garanderen.
4. Geautomatiseerde besturing: De wafelhanteringsarm is uitgerust met een geavanceerd besturingssysteem dat vooraf bepaalde actiesequenties automatisch kan uitvoeren, de productie-efficiëntie kan verbeteren en menselijke fouten kan verminderen.
Kenmerken en voordelen
1. Nauwkeurige afmetingen en thermische stabiliteit.
2. Hoge specifieke stijfheid en uitstekende thermische uniformiteit, langdurig gebruik is niet gemakkelijk om vervorming te buigen.
3. Het heeft een glad oppervlak en een goede slijtvastheid, waardoor de chip veilig kan worden gehanteerd zonder deeltjesverontreiniging.
4. Siliciumcarbide weerstand in 106-108Ω, niet-magnetisch, in overeenstemming met anti-ESD-specificatievereisten; Het kan de ophoping van statische elektriciteit op het oppervlak van de chip voorkomen.
5. Goede thermische geleidbaarheid, lage uitzettingscoëfficiënt.
