Semicera presenteert de toonaangevende industrieWafeldragers, ontworpen om superieure bescherming en naadloos transport van delicate halfgeleiderwafels in verschillende stadia van het productieproces te bieden. OnsWafeldragerszijn zorgvuldig ontworpen om te voldoen aan de strenge eisen van de moderne halfgeleiderfabricage, waardoor de integriteit en kwaliteit van uw wafers te allen tijde behouden blijven.
Belangrijkste kenmerken:
• Hoogwaardige materiaalconstructie:Gemaakt van hoogwaardige, contaminatiebestendige materialen die duurzaamheid en een lange levensduur garanderen, waardoor ze ideaal zijn voor cleanroomomgevingen.
•Precisieontwerp:Beschikt over een nauwkeurige uitlijning van de sleuven en veilige vasthoudmechanismen om het wegglijden en beschadigen van de wafel tijdens het hanteren en transport te voorkomen.
•Veelzijdige compatibiliteit:Geschikt voor een breed scala aan wafelformaten en -diktes, waardoor flexibiliteit wordt geboden voor verschillende halfgeleidertoepassingen.
•Ergonomische bediening:Het lichtgewicht en gebruiksvriendelijke ontwerp vergemakkelijkt het laden en lossen, waardoor de operationele efficiëntie wordt verbeterd en de verwerkingstijd wordt verkort.
•Aanpasbare opties:Biedt maatwerk om aan specifieke vereisten te voldoen, waaronder materiaalkeuze, maataanpassingen en etikettering voor geoptimaliseerde workflow-integratie.
Verbeter uw halfgeleiderproductieproces met Semicera'sWafeldragers, de perfecte oplossing om uw wafers te beschermen tegen vervuiling en mechanische schade. Vertrouw op onze toewijding aan kwaliteit en innovatie om producten te leveren die niet alleen voldoen aan de industrienormen, maar deze zelfs overtreffen, zodat uw activiteiten soepel en efficiënt verlopen.
| Artikelen | Productie | Onderzoek | Dummie |
| Kristalparameters | |||
| Polytype | 4H | ||
| Fout in oppervlakteoriëntatie | <11-20 >4±0,15° | ||
| Elektrische parameters | |||
| Doteringsmiddel | n-type stikstof | ||
| Weerstand | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
| Mechanische parameters | |||
| Diameter | 150,0 ± 0,2 mm | ||
| Dikte | 350±25 μm | ||
| Primaire vlakke oriëntatie | [1-100]±5° | ||
| Primaire platte lengte | 47,5 ± 1,5 mm | ||
| Secundaire flat | Geen | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5 mm * 5 mm) | ≤5 μm (5 mm * 5 mm) | ≤10 μm (5 mm * 5 mm) |
| Boog | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Verdraaien | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Voorste (Si-gezicht) ruwheid (AFM) | Ra≤0,2 nm (5μm*5μm) | ||
| Structuur | |||
| Dichtheid van de micropijp | <1 stuk/cm2 | <10 stuks/cm2 | <15 stuks/cm2 |
| Metaalonzuiverheden | ≤5E10 atomen/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 e/cm2 | ≤3000 e/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 e/cm2 | NA |
| Front kwaliteit | |||
| Voorkant | Si | ||
| Oppervlakteafwerking | Si-face CMP | ||
| Deeltjes | ≤60ea/wafeltje (size≥0.3μm) | NA | |
| Krassen | ≤5ea/mm. Cumulatieve lengte ≤Diameter | Cumulatieve lengte≤2*Diameter | NA |
| Sinaasappelschil/putten/vlekken/strepen/scheuren/verontreiniging | Geen | NA | |
| Randchips/inkepingen/breuk/zeskantplaten | Geen | ||
| Polytype-gebieden | Geen | Cumulatief gebied≤20% | Cumulatief gebied≤30% |
| Lasermarkering aan de voorkant | Geen | ||
| Terug Kwaliteit | |||
| Afwerking achterkant | C-face CMP | ||
| Krassen | ≤5ea/mm, cumulatieve lengte≤2*Diameter | NA | |
| Rugdefecten (randchips/inkepingen) | Geen | ||
| Ruwheid van de rug | Ra≤0,2 nm (5μm*5μm) | ||
| Lasermarkering op de achterkant | 1 mm (vanaf bovenrand) | ||
| Rand | |||
| Rand | Afschuining | ||
| Verpakking | |||
| Verpakking | Epi-ready met vacuümverpakking Verpakking met meerdere wafercassettes | ||
| *Opmerkingen: "NA" betekent geen verzoek. Niet genoemde items kunnen verwijzen naar SEMI-STD. | |||
