Semicera levert gespecialiseerde tantaalcarbide (TaC) coatings voor diverse componenten en dragers.Dankzij het toonaangevende coatingproces van Semicera kunnen tantaalcarbide (TaC) coatings een hoge zuiverheid, hoge temperatuurstabiliteit en hoge chemische tolerantie bereiken, waardoor de productkwaliteit van SIC/GAN-kristallen en EPI-lagen wordt verbeterd (Met grafiet gecoate TaC-susceptor), en het verlengen van de levensduur van belangrijke reactorcomponenten. Het gebruik van tantaalcarbide TaC-coating is om het randprobleem op te lossen en de kwaliteit van de kristalgroei te verbeteren, en Semicera heeft de tantaalcarbide-coatingtechnologie (CVD) doorbraak opgelost en daarmee het internationale geavanceerde niveau bereikt.
Siliciumcarbide (SiC) is een sleutelmateriaal in de derde generatie halfgeleiders, maar het rendement ervan is een beperkende factor geweest voor de groei van de industrie. Na uitgebreide testen in de laboratoria van Semicera is gebleken dat gespoten en gesinterde TaC de noodzakelijke zuiverheid en uniformiteit mist. Het CVD-proces zorgt daarentegen voor een zuiverheidsniveau van 5 ppm en een uitstekende uniformiteit. Het gebruik van CVD TaC verbetert de opbrengst van siliciumcarbidewafels aanzienlijk. Wij verwelkomen discussiesTantaalcarbide CVD-coating geleidering om de kosten van SiC-wafels verder te verlagen.
Na jaren van ontwikkeling heeft Semicera de technologie veroverdCVD TaCmet de gezamenlijke inspanningen van de R&D-afdeling. Defecten ontstaan gemakkelijk tijdens het groeiproces van SiC-wafels, maar ook na gebruikTaC, het verschil is aanzienlijk. Hieronder vindt u een vergelijking van wafers met en zonder TaC, evenals de onderdelen van Simicera voor de groei van één kristal.
met en zonder TaC
Na gebruik van TaC (rechts)
Bovendien Semicera'sTaC-gecoate productenvertonen een langere levensduur en een grotere weerstand tegen hoge temperaturen in vergelijking metSiC-coatings.Laboratoriummetingen hebben aangetoond dat onzeTaC-coatingskan consistent presteren bij temperaturen tot 2300 graden Celsius gedurende langere perioden. Hieronder vindt u enkele voorbeelden van onze monsters:
