Susceptorsteunplaat met tantaalcarbide coatingis een susceptor- of ondersteuningsstructuur die bedekt is met een dunne laagtantaalcarbide. Deze coating kan op het oppervlak van de susceptor worden gevormd door technieken zoals fysische dampafzetting (PVD) of chemische dampafzetting (CVD), waardoor de susceptor de superieure eigenschappen krijgt vantantaalcarbide.
Semicera levert gespecialiseerde tantaalcarbide (TaC) coatings voor diverse componenten en dragers.Dankzij het toonaangevende coatingproces van Semicera kunnen tantaalcarbide (TaC) coatings een hoge zuiverheid, hoge temperatuurstabiliteit en hoge chemische tolerantie bereiken, waardoor de productkwaliteit van SIC/GAN-kristallen en EPI-lagen wordt verbeterd (Met grafiet gecoate TaC-susceptor), en het verlengen van de levensduur van belangrijke reactorcomponenten. Het gebruik van tantaalcarbide TaC-coating is om het randprobleem op te lossen en de kwaliteit van de kristalgroei te verbeteren, en Semicera heeft de tantaalcarbide-coatingtechnologie (CVD) doorbraak opgelost en daarmee het internationale geavanceerde niveau bereikt.
Na jaren van ontwikkeling heeft Semicera de technologie veroverdCVD TaCmet de gezamenlijke inspanningen van de R&D-afdeling. Defecten ontstaan gemakkelijk tijdens het groeiproces van SiC-wafels, maar ook na gebruikTaC, het verschil is aanzienlijk. Hieronder vindt u een vergelijking van wafers met en zonder TaC, evenals de onderdelen van Simicera voor de groei van één kristal.
De belangrijkste kenmerken van met tantaalcarbide gecoate basissteunplaten zijn:
1. Stabiliteit bij hoge temperaturen: Tantaalcarbide heeft een uitstekende stabiliteit bij hoge temperaturen, waardoor de gecoate basissteunplaat geschikt is voor ondersteuningsbehoeften in werkomgevingen met hoge temperaturen.
2. Corrosiebestendigheid: Tantaalcarbide coating heeft een goede corrosieweerstand, is bestand tegen chemische corrosie en oxidatie en verlengt de levensduur van de basis.
3. Hoge hardheid en slijtvastheid: de hoge hardheid van de tantaalcarbidecoating geeft de basissteunplaat een goede slijtvastheid, wat geschikt is voor gelegenheden die een hoge slijtvastheid vereisen.
4. Chemische stabiliteit: Tantaalcarbide heeft een hoge stabiliteit tegen een verscheidenheid aan chemische stoffen, waardoor de gecoate basissteunplaat goed presteert in sommige corrosieve omgevingen.
met en zonder TaC
Na gebruik van TaC (rechts)
Bovendien Semicera'sTaC-gecoate productenvertonen een langere levensduur en een grotere weerstand tegen hoge temperaturen in vergelijking metSiC-coatings.Laboratoriummetingen hebben aangetoond dat onzeTaC-coatingskan consistent presteren bij temperaturen tot 2300 graden Celsius gedurende langere perioden. Hieronder vindt u enkele voorbeelden van onze monsters:
