Tantaalcarbide gecoate grafietplaatis een grafietmateriaal met een dunne laag vantantaalcarbideop het oppervlak van het substraat. De dunne laag tantaalcarbide wordt gewoonlijk op het oppervlak van het grafietsubstraat gevormd door technieken zoals fysische dampafzetting (PVD) of chemische dampafzetting (CVD). Deze coating heeft uitstekende eigenschappen zoals hoge hardheid, uitstekende slijtvastheid, corrosiebestendigheid en hoge temperatuurstabiliteit.
Semicera levert gespecialiseerde tantaalcarbide (TaC) coatings voor diverse componenten en dragers.Dankzij het toonaangevende coatingproces van Semicera kunnen tantaalcarbide (TaC) coatings een hoge zuiverheid, hoge temperatuurstabiliteit en hoge chemische tolerantie bereiken, waardoor de productkwaliteit van SIC/GAN-kristallen en EPI-lagen wordt verbeterd (Met grafiet gecoate TaC-susceptor), en het verlengen van de levensduur van belangrijke reactorcomponenten. Het gebruik van tantaalcarbide TaC-coating is om het randprobleem op te lossen en de kwaliteit van de kristalgroei te verbeteren, en Semicera heeft de tantaalcarbide-coatingtechnologie (CVD) doorbraak opgelost en daarmee het internationale geavanceerde niveau bereikt.
Na jaren van ontwikkeling heeft Semicera de technologie veroverdCVD TaCmet de gezamenlijke inspanningen van de R&D-afdeling. Defecten ontstaan gemakkelijk tijdens het groeiproces van SiC-wafels, maar ook na gebruikTaC, het verschil is aanzienlijk. Hieronder vindt u een vergelijking van wafers met en zonder TaC, evenals de onderdelen van Simicera voor de groei van één kristal.
De belangrijkste voordelen van met tantaalcarbide gecoate grafietplaten zijn:
1. Bestand tegen hoge temperaturen: Tantaalcarbide heeft een hoog smeltpunt en uitstekende stabiliteit bij hoge temperaturen, waardoor de gecoate grafietplaat geschikt is voor gebruik in omgevingen met hoge temperaturen.
2. Corrosiebestendigheid: Tantaalcarbide coating kan de erosie van veel chemische bijtende stoffen weerstaan en de levensduur van het materiaal verlengen.
3. Hoge hardheid: De hoge hardheid van de dunne laag tantaalcarbide zorgt voor een goede slijtvastheid en is geschikt voor toepassingen die een hoge slijtvastheid vereisen.
4. Chemische stabiliteit: Tantaalcarbidecoating heeft een uitstekende stabiliteit tegen chemische corrosie en is geschikt voor gebruik in sommige corrosieve media.
met en zonder TaC
Na gebruik van TaC (rechts)
Bovendien Semicera'sTaC-gecoate productenvertonen een langere levensduur en een grotere weerstand tegen hoge temperaturen in vergelijking metSiC-coatings.Laboratoriummetingen hebben aangetoond dat onzeTaC-coatingskan consistent presteren bij temperaturen tot 2300 graden Celsius gedurende langere perioden. Hieronder vindt u enkele voorbeelden van onze monsters:
