TaC-coatingis een belangrijke materiaalcoating, die meestal op een grafietbasis wordt bereid door middel van metaal-organische chemische dampafzetting (MOCVD). Deze coating heeft uitstekende eigenschappen, zoals hoge hardheid, uitstekende slijtvastheid, hoge temperatuurbestendigheid en chemische stabiliteit, en is geschikt voor diverse veeleisende technische toepassingen.
MOCVD-technologie is een veelgebruikte dunne-filmgroeitechnologie die de gewenste samengestelde film op het substraatoppervlak afzet door metaalorganische voorlopers te laten reageren met reactieve gassen bij hoge temperaturen. Bij het voorbereidenTaC-coatingDoor geschikte organische metaalvoorlopers en koolstofbronnen te selecteren, de reactieomstandigheden en afzettingsparameters te controleren, kan een uniforme en dichte TaC-film op een grafietbasis worden afgezet.
Semicera levert gespecialiseerde tantaalcarbide (TaC) coatings voor diverse componenten en dragers.Dankzij het toonaangevende coatingproces van Semicera kunnen tantaalcarbide (TaC) coatings een hoge zuiverheid, hoge temperatuurstabiliteit en hoge chemische tolerantie bereiken, waardoor de productkwaliteit van SIC/GAN-kristallen en EPI-lagen wordt verbeterd (Met grafiet gecoate TaC-susceptor), en het verlengen van de levensduur van belangrijke reactorcomponenten. Het gebruik van tantaalcarbide TaC-coating is om het randprobleem op te lossen en de kwaliteit van de kristalgroei te verbeteren, en Semicera heeft de tantaalcarbide-coatingtechnologie (CVD) doorbraak opgelost en daarmee het internationale geavanceerde niveau bereikt.
Na jaren van ontwikkeling heeft Semicera de technologie veroverdCVD TaCmet de gezamenlijke inspanningen van de R&D-afdeling. Defecten ontstaan gemakkelijk tijdens het groeiproces van SiC-wafels, maar ook na gebruikTaC, het verschil is aanzienlijk. Hieronder vindt u een vergelijking van wafers met en zonder TaC, evenals de onderdelen van Simicera voor de groei van één kristal.
met en zonder TaC
Na gebruik van TaC (rechts)
Bovendien Semicera'sTaC-gecoate productenvertonen een langere levensduur en een grotere weerstand tegen hoge temperaturen in vergelijking metSiC-coatings.Laboratoriummetingen hebben aangetoond dat onzeTaC-coatingskan consistent presteren bij temperaturen tot 2300 graden Celsius gedurende langere perioden. Hieronder vindt u enkele voorbeelden van onze monsters:
