Geleidingsringen van grafiet met TaC-coatingverwijzen naar de afzetting van een dunne laag vantantaalcarbideop het oppervlak van een grafietgeleidingsring om de slijtvastheid, hoge temperatuurbestendigheid en chemische stabiliteit te verbeteren. Deze coating wordt meestal gevormd op het oppervlak van een grafietgeleidingsring door technieken zoals fysische dampafzetting (PVD) of chemische dampafzetting (CVD).
Semicera levert gespecialiseerde tantaalcarbide (TaC) coatings voor diverse componenten en dragers.Dankzij het toonaangevende coatingproces van Semicera kunnen tantaalcarbide (TaC) coatings een hoge zuiverheid, hoge temperatuurstabiliteit en hoge chemische tolerantie bereiken, waardoor de productkwaliteit van SIC/GAN-kristallen en EPI-lagen wordt verbeterd (Met grafiet gecoate TaC-susceptor), en het verlengen van de levensduur van belangrijke reactorcomponenten. Het gebruik van tantaalcarbide TaC-coating is om het randprobleem op te lossen en de kwaliteit van de kristalgroei te verbeteren, en Semicera heeft de tantaalcarbide-coatingtechnologie (CVD) doorbraak opgelost en daarmee het internationale geavanceerde niveau bereikt.
Na jaren van ontwikkeling heeft Semicera de technologie veroverdCVD TaCmet de gezamenlijke inspanningen van de R&D-afdeling. Defecten ontstaan gemakkelijk tijdens het groeiproces van SiC-wafels, maar ook na gebruikTaC, het verschil is aanzienlijk. Hieronder vindt u een vergelijking van wafers met en zonder TaC, evenals de onderdelen van Simicera voor de groei van één kristal.
De belangrijkste kenmerken van met TaC gecoate grafietgeleidingsringen zijn:
1. Bestand tegen hoge temperaturen: TaC-coating heeft een uitstekende stabiliteit bij hoge temperaturen en kan de stabiliteit behouden in omgevingen met hoge temperaturen.
2. Slijtvastheid: De hoge hardheid van de dunne laag tantaalcarbide geeft de geleidingsring een goede slijtvastheid en verlengt de levensduur.
3. Chemische stabiliteit: TaC-coating heeft een hoge stabiliteit tegen chemische corrosie, waardoor deze geschikt is voor toepassingen in sommige corrosieve media.
4. Verminder wrijving: TaC-coating kan de wrijving tussen de grafietgeleidingsring en andere componenten effectief verminderen en de efficiëntie van mechanische afdichtingen verbeteren.
met en zonder TaC
Na gebruik van TaC (rechts)
Bovendien Semicera'sTaC-gecoate productenvertonen een langere levensduur en een grotere weerstand tegen hoge temperaturen in vergelijking metSiC-coatings.Laboratoriummetingen hebben aangetoond dat onzeTaC-coatingskan consistent presteren bij temperaturen tot 2300 graden Celsius gedurende langere perioden. Hieronder vindt u enkele voorbeelden van onze monsters:
