Met TaC gecoate epitaxiale waferdragersworden meestal gebruikt bij de voorbereiding van hoogwaardige opto-elektronische apparaten, voedingsapparaten, sensoren en andere velden. Ditepitaxiale wafeldragerverwijst naar de afzetting vanTaCdunne film op het substraat tijdens het kristalgroeiproces om een wafel te vormen met een specifieke structuur en prestaties voor de daaropvolgende voorbereiding van het apparaat.
Voor de bereiding wordt meestal gebruik gemaakt van chemische dampafzettingstechnologie (CVD).Met TaC gecoate epitaxiale waferdragers. Door metaalorganische voorlopers en koolstofbrongassen bij hoge temperatuur te laten reageren, kan een TaC-film op het oppervlak van het kristalsubstraat worden afgezet. Deze film kan uitstekende elektrische, optische en mechanische eigenschappen hebben en is geschikt voor de vervaardiging van verschillende hoogwaardige apparaten.
Semicera levert gespecialiseerde tantaalcarbide (TaC) coatings voor diverse componenten en dragers.Dankzij het toonaangevende coatingproces van Semicera kunnen tantaalcarbide (TaC) coatings een hoge zuiverheid, hoge temperatuurstabiliteit en hoge chemische tolerantie bereiken, waardoor de productkwaliteit van SIC/GAN-kristallen en EPI-lagen wordt verbeterd (Met grafiet gecoate TaC-susceptor), en het verlengen van de levensduur van belangrijke reactorcomponenten. Het gebruik van tantaalcarbide TaC-coating is om het randprobleem op te lossen en de kwaliteit van de kristalgroei te verbeteren, en Semicera heeft de tantaalcarbide-coatingtechnologie (CVD) doorbraak opgelost en daarmee het internationale geavanceerde niveau bereikt.
Na jaren van ontwikkeling heeft Semicera de technologie veroverdCVD TaCmet de gezamenlijke inspanningen van de R&D-afdeling. Defecten ontstaan gemakkelijk tijdens het groeiproces van SiC-wafels, maar ook na gebruikTaC, het verschil is aanzienlijk. Hieronder vindt u een vergelijking van wafers met en zonder TaC, evenals de onderdelen van Simicera voor de groei van één kristal.
met en zonder TaC
Na gebruik van TaC (rechts)
Bovendien Semicera'sTaC-gecoate productenvertonen een langere levensduur en een grotere weerstand tegen hoge temperaturen in vergelijking metSiC-coatings.Laboratoriummetingen hebben aangetoond dat onzeTaC-coatingskan consistent presteren bij temperaturen tot 2300 graden Celsius gedurende langere perioden. Hieronder vindt u enkele voorbeelden van onze monsters:
