Grafiet Susceptor met siliciumcarbide coating Barrel tray

Grafiet susceptor met siliciumcarbide coating Vatbakje Uitgelichte afbeelding

Korte beschrijving:

Semicera biedt een uitgebreid assortiment susceptoren en grafietcomponenten ontworpen voor verschillende epitaxiereactoren.

Door strategische partnerschappen met toonaangevende OEM's, uitgebreide expertise op het gebied van materialen en geavanceerde productiemogelijkheden, levert Semicera op maat gemaakte ontwerpen om aan de specifieke eisen van uw toepassing te voldoen. Onze toewijding aan uitmuntendheid zorgt ervoor dat u optimale oplossingen krijgt voor uw epitaxiereactorbehoeften.

Stuur een e-mail naar ons

Productdetail

Productlabels

Beschrijving

Ons bedrijf levert SiC-coatingprocesdiensten via CVD-methode op het oppervlak van grafiet, keramiek en andere materialen, zodat speciale gassen die koolstof en silicium bevatten bij hoge temperatuur reageren om SiC-moleculen met een hoge zuiverheid te verkrijgen, moleculen die worden afgezet op het oppervlak van de gecoate materialen. vormende SIC-beschermlaag.

ongeveer (1)

ongeveer (2)

Belangrijkste kenmerken

1. Hoge zuiverheid SiC gecoat grafiet

2. Superieure hittebestendigheid en thermische uniformiteit

3. Fijne SiC-kristalcoating voor een glad oppervlak

4. Hoge duurzaamheid tegen chemische reiniging

Belangrijkste specificaties van CVD-SIC-coating

SiC-CVD-eigenschappen
Kristalstructuur	FCC β-fase
Dikte	g/cm³	3.21
Hardheid	Vickers-hardheid	2500
Korrelgrootte	urn	2~10
Chemische zuiverheid	%	99,99995
Warmtecapaciteit	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimatietemperatuur	℃	2700
Flexurale kracht	MPa (RT 4-punts)	415
Young's Modulus	Gpa (4pt bocht, 1300℃)	430
Thermische uitzetting (CTE)	10-6K-1	4.5
Thermische geleidbaarheid	(W/mK)	300