Keramische coating van siliciumcarbide

SemiceraKeramische coating van siliciumcarbideis een hoogwaardige beschermende coating gemaakt van extreem hard en slijtvast siliciumcarbide (SiC) materiaal. De coating wordt gewoonlijk op het oppervlak van het substraat afgezet door middel van een CVD- of PVD-processiliciumcarbidedeeltjes, waardoor uitstekende chemische corrosieweerstand en stabiliteit bij hoge temperaturen worden geboden. Daarom wordt siliciumcarbide-keramische coating veel gebruikt in belangrijke componenten van halfgeleiderproductieapparatuur.

Bij de productie van halfgeleiders isSiC-coatingis bestand tegen extreem hoge temperaturen tot 1600°C, daarom wordt Silicon Carbide Ceramic Coating vaak gebruikt als beschermlaag voor apparatuur of gereedschap om schade bij hoge temperaturen of corrosieve omgevingen te voorkomen.

Tegelijkertijd,keramische coating van siliciumcarbidekan de erosie van zuren, logen, oxiden en andere chemische reagentia weerstaan, en heeft een hoge corrosieweerstand tegen een verscheidenheid aan chemische stoffen. Hierdoor is dit product geschikt voor diverse corrosieve omgevingen in de halfgeleiderindustrie.

Bovendien heeft SiC, vergeleken met andere keramische materialen, een hogere thermische geleidbaarheid en kan het effectief warmte geleiden. Deze eigenschap bepaalt dat bij halfgeleiderprocessen die nauwkeurige temperatuurregeling vereisen, de hoge thermische geleidbaarheid vanKeramische coating van siliciumcarbidehelpt de warmte gelijkmatig te verspreiden, lokale oververhitting te voorkomen en ervoor te zorgen dat het apparaat op de optimale temperatuur werkt.