De Solid SiC Focus Ring van Semicera is een geavanceerd onderdeel dat is ontworpen om te voldoen aan de eisen van geavanceerde halfgeleiderproductie. Gemaakt van hoge zuiverheidSiliciumcarbide (SiC)Deze scherpstelring is ideaal voor een breed scala aan toepassingen in de halfgeleiderindustrie, vooral inCVD SiC-processen, plasma-etsen, enICPRIE (Inductief gekoppeld plasma-reactief ionenetsen). Het staat bekend om zijn uitzonderlijke slijtvastheid, hoge thermische stabiliteit en zuiverheid en garandeert langdurige prestaties in omgevingen met hoge stress.
Op halfgeleidergebiedwafeltjeTijdens de verwerking zijn Solid SiC focusringen van cruciaal belang voor het handhaven van nauwkeurig etsen tijdens droge ets- en wafer-etstoepassingen. De SiC-focusring helpt bij het focusseren van het plasma tijdens processen zoals plasma-etsmachinebewerkingen, waardoor deze onmisbaar wordt voor het etsen van siliciumwafels. Het massieve SiC-materiaal biedt een ongeëvenaarde weerstand tegen erosie, waardoor de levensduur van uw apparatuur wordt gegarandeerd en de uitvaltijd wordt geminimaliseerd, wat essentieel is voor het handhaven van een hoge doorvoer bij de fabricage van halfgeleiders.
De Solid SiC Focus Ring van Semicera is ontworpen om extreme temperaturen en agressieve chemicaliën te weerstaan die vaak voorkomen in de halfgeleiderindustrie. Het is speciaal gemaakt voor gebruik bij taken met hoge precisie, zoalsCVD SiC-coatings, waarbij zuiverheid en duurzaamheid voorop staan. Met een uitstekende weerstand tegen thermische schokken garandeert dit product consistente en stabiele prestaties onder de zwaarste omstandigheden, inclusief blootstelling aan hoge temperaturen tijdenswafeltjeetsprocessen.
In halfgeleidertoepassingen, waar precisie en betrouwbaarheid van cruciaal belang zijn, speelt de Solid SiC Focus Ring een cruciale rol bij het verbeteren van de algehele efficiëntie van etsprocessen. Het robuuste, hoogwaardige ontwerp maakt het de perfecte keuze voor industrieën die componenten met een hoge zuiverheid vereisen die presteren onder extreme omstandigheden. Of het nu gebruikt wordtCVD SiC-ringtoepassingen of als onderdeel van het plasma-etsproces helpt Semicera's Solid SiC Focus Ring de prestaties van uw apparatuur te optimaliseren en biedt de levensduur en betrouwbaarheid die uw productieprocessen vereisen.
Belangrijkste kenmerken:
• Superieure slijtvastheid en hoge thermische stabiliteit
• Zeer zuiver massief SiC-materiaal voor langere levensduur
• Ideaal voor plasma-etsen, ICP RIE en droogetstoepassingen
• Perfect voor het etsen van wafers, vooral bij CVD SiC-processen
• Betrouwbare prestaties in extreme omgevingen en hoge temperaturen
• Zorgt voor precisie en efficiëntie bij het etsen van siliciumwafels
Toepassingen:
• CVD SiC-processen bij de productie van halfgeleiders
• Plasma-ets- en ICP RIE-systemen
• Droogets- en wafer-etsprocessen
• Etsen en depositie in plasma-etsmachines
• Precisiecomponenten voor waferringen en CVD SiC-ringen
Microscopische morfologie van CVD SiC-oppervlak
Microscopische morfologie van CVD SiC-dwarsdoorsnede
