SiC-gecoat proces voor op grafiet gebaseerde SiC-gecoate grafietdragers

Korte beschrijving:

Semicera Energy Technology Co., Ltd. is een toonaangevende leverancier van geavanceerde halfgeleiderkeramiek. Onze belangrijkste producten zijn onder meer: ​​met siliciumcarbide geëtste schijven, boottrailers van siliciumcarbide, waferschepen van siliciumcarbide (PV en halfgeleiders), ovenbuizen van siliciumcarbide, vrijdragende peddels van siliciumcarbide, boorkop van siliciumcarbide, balken van siliciumcarbide, evenals CVD SiC-coatings en TaC-coatings.
De producten worden voornamelijk gebruikt in de halfgeleider- en fotovoltaïsche industrie, zoals kristalgroei-, epitaxie-, ets-, verpakkings-, coating- en diffusieovenapparatuur.

 

Productdetail

Productlabels

Beschrijving

Wij hanteren zeer nauwe toleranties bij het toepassen van deSiC-coating, waarbij gebruik wordt gemaakt van uiterst nauwkeurige bewerking om een ​​uniform susceptorprofiel te garanderen. Wij produceren ook materialen met ideale elektrische weerstandseigenschappen voor gebruik in inductief verwarmde systemen. Alle afgewerkte componenten worden geleverd met een certificaat van zuiverheid en maatvoering.

Ons bedrijf biedtSiC-coatingprocesdiensten via CVD-methode op het oppervlak van grafiet, keramiek en andere materialen, zodat speciale gassen die koolstof en silicium bevatten bij hoge temperatuur reageren om SiC-moleculen met hoge zuiverheid te verkrijgen, moleculen die op het oppervlak van de gecoate materialen worden afgezet en zo een SIC-beschermlaag vormen. De gevormde SIC is stevig gebonden aan de grafietbasis, waardoor de grafietbasis speciale eigenschappen krijgt, waardoor het oppervlak van het grafiet compact, porositeitsvrij, bestand tegen hoge temperaturen, corrosieweerstand en oxidatieweerstand wordt.

vriendin (1)

Het CVD-proces levert een extreem hoge zuiverheid en theoretische dichtheid opSiC-coatingzonder porositeit. Bovendien kan siliciumcarbide, omdat het erg hard is, worden gepolijst tot een spiegelachtig oppervlak.CVD-siliciumcarbide (SiC) coatingleverde verschillende voordelen op, waaronder een oppervlak met ultrahoge zuiverheid en extreem slijtvastheid. Omdat de gecoate producten uitstekende prestaties leveren in omstandigheden met hoog vacuüm en hoge temperaturen, zijn ze ideaal voor toepassingen in de halfgeleiderindustrie en andere ultraschone omgevingen. Wij leveren ook pyrolytisch grafiet (PG) producten.

 

Belangrijkste kenmerken

1. Oxidatieweerstand op hoge temperatuur:
de oxidatieweerstand is nog steeds erg goed bij een temperatuur tot 1600 C.
2. Hoge zuiverheid: gemaakt door chemische dampafzetting onder chloreringsomstandigheden op hoge temperatuur.
3. Erosiebestendigheid: hoge hardheid, compact oppervlak, fijne deeltjes.
4. Corrosiebestendigheid: zuur, alkali, zout en organische reagentia.

Hoofd-05

Hoofd-04

Hoofd-03

Belangrijkste specificaties van CVD-SIC-coatings

SiC-CVD
Dikte (g/cc) 3.21
Buigsterkte (Mpa) 470
Thermische uitzetting (10-6/K) 4
Thermische geleidbaarheid (W/mK) 300

Sollicitatie

CVD-siliciumcarbidecoating is al toegepast in halfgeleiderindustrieën, zoals MOCVD-trays, RTP en oxide-etskamers, omdat siliciumnitride een grote thermische schokbestendigheid heeft en bestand is tegen hoogenergetisch plasma.
-Siliciumcarbide wordt veel gebruikt in halfgeleiders en coatings.

Sollicitatie

Leveringscapaciteit:
10000 Stuk/Stukken per Maand
Verpakking en levering:
Verpakking: standaard en sterke verpakking
Polyzak + doos + doos + pallet
Haven:
Ningbo/Shenzhen/Shanghai
Doorlooptijd:

Hoeveelheid (stuks) 1 – 1000 >1000
Geschat. Tijd (dagen) 30 Te onderhandelen
Semicera-werkplaats
Semicera-werkplaats 2
Uitrustingsmachine
CNN-verwerking, chemische reiniging, CVD-coating
Onze service

  • Vorig:
  • Volgende: