Semicera'sSiC-peddelszijn ontworpen voor minimale thermische uitzetting en bieden stabiliteit en precisie in processen waarbij maatnauwkeurigheid van cruciaal belang is. Dit maakt ze ideaal voor toepassingen waarbijwafelsworden onderworpen aan herhaalde verwarmings- en koelcycli, omdat de waferboot zijn structurele integriteit behoudt en consistente prestaties garandeert.
Inclusief Semicera'sdiffusiepeddels van siliciumcarbidein uw productielijn zal de betrouwbaarheid van uw proces vergroten, dankzij hun superieure thermische en chemische eigenschappen. Deze paddles zijn perfect voor diffusie-, oxidatie- en uitgloeiprocessen en zorgen ervoor dat wafers bij elke stap met zorg en precisie worden gehanteerd.
Innovatie vormt de kern van SemiceraSiC-peddelontwerp. Deze paddles zijn op maat gemaakt om naadloos in bestaande halfgeleiderapparatuur te passen, waardoor ze efficiënter kunnen worden verwerkt. De lichtgewicht structuur en het ergonomische ontwerp verbeteren niet alleen het wafeltransport, maar verminderen ook de operationele stilstand, wat resulteert in een gestroomlijnde productie.
| Fysische eigenschappen van herkristalliseerd siliciumcarbide | |
| Eigendom | Typische waarde |
| Werktemperatuur (°C) | 1600°C (met zuurstof), 1700°C (reducerende omgeving) |
| SiC-inhoud | > 99,96% |
| Gratis Si-inhoud | < 0,1% |
| Bulkdichtheid | 2,60-2,70 g/cm33 |
| Schijnbare porositeit | < 16% |
| Compressie sterkte | > 600 MPa |
| Koude buigsterkte | 80-90 MPa (20°C) |
| Hete buigsterkte | 90-100 MPa (1400°C) |
| Thermische uitzetting @1500°C | 4,70 10-6/°C |
| Thermische geleidbaarheid @1200°C | 23 W/m•K |
| Elasticiteitsmodulus | 240 GPa |
| Bestand tegen thermische schokken | Zeer goed |
