Beschrijving
MOCVD substraatverwarmer, verwarmingselementen voor MOCVD
Grafiet verwarmer:
De componenten van de grafietverwarmer worden gebruikt in de hogetemperatuuroven, waarbij de temperatuur 2200 graden bereikt in een vacuümomgeving en 3000 graden in de gedeoxideerde en ingevoegde gasomgeving.
Belangrijkste kenmerken van grafietverwarmer
1. uniformiteit van de verwarmingsstructuur.
2. goede elektrische geleidbaarheid en hoge elektrische belasting.
3. corrosieweerstand.
4. inoxideerbaarheid.
5. hoge chemische zuiverheid.
6. hoge mechanische sterkte.
Het voordeel is energiezuinig, hoogwaardig en onderhoudsarm.
We kunnen anti-oxidatie en een grafietsmeltkroes met een lange levensduur, grafietvorm en alle onderdelen van de grafietverwarmer produceren.
Chemisch Grafiet
Voordeel: weerstand tegen hoge temperaturen
Toepassing: MOCVD/vacuümoven/hete zone
Bulkdichtheid: 1,68-1,91 g/cm3
Buigsterkte: 30-46Mpa
Weerstand: 7-12μΩm
Belangrijkste parameters van grafietverwarmer
| Technische specificatie | VET-M3 |
| Bulkdichtheid (g/cm3) | ≥1,85 |
| Asgehalte (PPM) | ≤500 |
| Shore-hardheid | ≥45 |
| Specifieke weerstand (μ.Ω.m) | ≤12 |
| Buigsterkte (Mpa) | ≥40 |
| Druksterkte (Mpa) | ≥70 |
| Max. Korrelgrootte (μm) | ≤43 |
| Thermische uitzettingscoëfficiënt Mm/°C | ≤4,4*10-6 |
Grafietverwarmer voor elektrische oven heeft eigenschappen van hittebestendigheid, oxidatieweerstand, goede elektrische geleidbaarheid en betere mechanische intensiteit. We kunnen verschillende soorten grafietverwarmers bewerken volgens de ontwerpen van de klant.
Bedrijfsprofiel
WeiTai Energy Technology Co., Ltd. is een toonaangevende leverancier van geavanceerde halfgeleiderkeramiek en de enige fabrikant in China die tegelijkertijd hoogzuiver siliciumcarbide-keramiek (vooral herkristalliseerd SiC) en CVD SiC-coating kan leveren. Daarnaast zet ons bedrijf zich ook in voor keramische velden zoals aluminiumoxide, aluminiumnitride, zirkoniumoxide en siliciumnitride, enz.
Onze belangrijkste producten, waaronder: etsschijf van siliciumcarbide, sleepboot van siliciumcarbide, wafelboot van siliciumcarbide (fotovoltaïsche en halfgeleider), ovenbuis van siliciumcarbide, cantileverpeddel van siliciumcarbide, klauwplaten van siliciumcarbide, balk van siliciumcarbide, evenals de CVD SiC-coating en TaC coating. De producten die voornamelijk worden gebruikt in de halfgeleider- en fotovoltaïsche industrie, zoals apparatuur voor kristalgroei, epitaxie, ets-, verpakkings-, coating- en diffusieovens, enz.
Ons bedrijf beschikt over de complete productieapparatuur zoals giet-, sinteren-, verwerkings-, coatingapparatuur, enz., die alle noodzakelijke schakels van de productproductie kan voltooien en een hogere controleerbaarheid van de productkwaliteit heeft; Het optimale productieplan kan worden geselecteerd op basis van de behoeften van het product, wat resulteert in lagere kosten en het bieden van concurrerendere producten aan klanten; We kunnen de productie flexibel en efficiënt plannen op basis van de leveringsvereisten van bestellingen en in combinatie met online orderbeheersystemen, waardoor klanten een snellere en meer gegarandeerde levertijd krijgen.
