Semiceraintroduceert deHalfgeleidercassette, een essentieel hulpmiddel voor de veilige en efficiënte verwerking van wafers tijdens het productieproces van halfgeleiders. Deze cassette is met hoge precisie ontworpen en zorgt ervoor dat uw wafers veilig worden opgeslagen en vervoerd, waarbij hun integriteit in elke fase behouden blijft.
Superieure bescherming en duurzaamheidDeHalfgeleidercassettevan Semicera is gebouwd om maximale bescherming te bieden aan uw wafers. Het is gemaakt van robuuste, contaminatiebestendige materialen en beschermt uw wafers tegen mogelijke schade en contaminatie, waardoor het een ideale keuze is voor cleanroomomgevingen. Het ontwerp van de cassette minimaliseert de vorming van deeltjes en zorgt ervoor dat wafers onaangeroerd en veilig blijven tijdens hantering en transport.
Verbeterd ontwerp voor optimale prestatiesSemicera'sHalfgeleidercassettebeschikt over een zorgvuldig ontworpen ontwerp dat zorgt voor een nauwkeurige uitlijning van de wafer, waardoor het risico op verkeerde uitlijning en mechanische schade wordt verminderd. De sleuven van de cassette zijn perfect uit elkaar geplaatst om elke wafel veilig vast te houden, waardoor elke beweging wordt voorkomen die tot krassen of andere onvolkomenheden zou kunnen leiden.
Veelzijdigheid en compatibiliteitDeHalfgeleidercassetteis veelzijdig en compatibel met verschillende wafelformaten, waardoor het geschikt is voor verschillende stadia van de halfgeleiderfabricage. Of u nu werkt met standaard of aangepaste waferafmetingen, deze cassette past zich aan uw behoeften aan en biedt flexibiliteit in uw productieprocessen.
Gestroomlijnde bediening en efficiëntieOntworpen met de gebruiker in gedachten, deSemicera halfgeleidercassetteis licht van gewicht en gemakkelijk te hanteren, waardoor snel en efficiënt laden en lossen mogelijk is. Dit ergonomische ontwerp bespaart niet alleen tijd, maar vermindert ook het risico op menselijke fouten, waardoor een soepele werking binnen uw instelling wordt gegarandeerd.
Voldoen aan industrienormenSemicera zorgt ervoor dat deHalfgeleidercassettevoldoet aan de hoogste industrienormen voor kwaliteit en betrouwbaarheid. Elke cassette ondergaat strenge tests om te garanderen dat deze consistent presteert onder de veeleisende omstandigheden van de halfgeleiderproductie. Deze toewijding aan kwaliteit zorgt ervoor dat uw wafers altijd beschermd zijn, waarbij de hoge normen die in de industrie vereist zijn, behouden blijven.
Artikelen | Productie | Onderzoek | Dummie |
Kristalparameters | |||
Polytype | 4H | ||
Fout in oppervlakteoriëntatie | <11-20 >4±0,15° | ||
Elektrische parameters | |||
Doteringsmiddel | n-type stikstof | ||
Weerstand | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
Mechanische parameters | |||
Diameter | 150,0 ± 0,2 mm | ||
Dikte | 350±25 μm | ||
Primaire vlakke oriëntatie | [1-100]±5° | ||
Primaire platte lengte | 47,5 ± 1,5 mm | ||
Secundaire flat | Geen | ||
TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm (5 mm * 5 mm) | ≤5 μm (5 mm * 5 mm) | ≤10 μm (5 mm * 5 mm) |
Boog | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Verdraaien | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
Voorste (Si-gezicht) ruwheid (AFM) | Ra≤0,2 nm (5μm*5μm) | ||
Structuur | |||
Dichtheid van de micropijp | <1 stuk/cm2 | <10 stuks/cm2 | <15 stuks/cm2 |
Metaalonzuiverheden | ≤5E10 atomen/cm2 | NA | |
BPD | ≤1500 e/cm2 | ≤3000 e/cm2 | NA |
TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 e/cm2 | NA |
Front kwaliteit | |||
Voorkant | Si | ||
Oppervlakteafwerking | Si-face CMP | ||
Deeltjes | ≤60ea/wafeltje (size≥0.3μm) | NA | |
Krassen | ≤5ea/mm. Cumulatieve lengte ≤Diameter | Cumulatieve lengte≤2*Diameter | NA |
Sinaasappelschil/putten/vlekken/strepen/scheuren/verontreiniging | Geen | NA | |
Randchips/inkepingen/breuk/zeskantplaten | Geen | ||
Polytype-gebieden | Geen | Cumulatief gebied≤20% | Cumulatief gebied≤30% |
Lasermarkering aan de voorkant | Geen | ||
Terug Kwaliteit | |||
Afwerking achterkant | C-face CMP | ||
Krassen | ≤5ea/mm, cumulatieve lengte≤2*Diameter | NA | |
Rugdefecten (randchips/inkepingen) | Geen | ||
Ruwheid van de rug | Ra≤0,2 nm (5μm*5μm) | ||
Lasermarkering op de achterkant | 1 mm (vanaf bovenrand) | ||
Rand | |||
Rand | Afschuining | ||
Verpakking | |||
Verpakking | Epi-ready met vacuümverpakking Verpakking met meerdere wafercassettes | ||
*Opmerkingen: "NA" betekent geen verzoek. Niet genoemde items kunnen verwijzen naar SEMI-STD. |