SiC-coatingdragers voor het etsen van halfgeleiders

Korte beschrijving:

Semicera Semiconductor Technology Co., Ltd. is een toonaangevende leverancier van geavanceerde halfgeleiderkeramiek. Onze belangrijkste producten zijn onder meer: ​​met siliciumcarbide geëtste schijven, boottrailers van siliciumcarbide, waferschepen van siliciumcarbide (PV en halfgeleiders), ovenbuizen van siliciumcarbide, vrijdragende peddels van siliciumcarbide, boorkop van siliciumcarbide, balken van siliciumcarbide, evenals CVD SiC-coatings en TaC-coatings.

De producten worden voornamelijk gebruikt in de halfgeleider- en fotovoltaïsche industrie, zoals kristalgroei-, epitaxie-, ets-, verpakkings-, coating- en diffusieovenapparatuur.

 

 


Productdetail

Productlabels

Beschrijving

Ons bedrijf levert SiC-coatingprocesdiensten via CVD-methode op het oppervlak van grafiet, keramiek en andere materialen, zodat speciale gassen die koolstof en silicium bevatten bij hoge temperatuur reageren om SiC-moleculen met een hoge zuiverheid te verkrijgen, moleculen die worden afgezet op het oppervlak van de gecoate materialen. vormende SIC-beschermlaag.

Belangrijkste kenmerken

1. Oxidatieweerstand op hoge temperatuur:
de oxidatieweerstand is nog steeds erg goed bij een temperatuur tot 1600 C.
2. Hoge zuiverheid: gemaakt door chemische dampafzetting onder chloreringsomstandigheden op hoge temperatuur.
3. Erosiebestendigheid: hoge hardheid, compact oppervlak, fijne deeltjes.
4. Corrosiebestendigheid: zuur, alkali, zout en organische reagentia.

Belangrijkste specificaties van CVD-SIC-coating

SiC-CVD-eigenschappen

Kristalstructuur FCC β-fase
Dikte g/cm³ 3.21
Hardheid Vickers-hardheid 2500
Korrelgrootte urn 2~10
Chemische zuiverheid % 99,99995
Warmtecapaciteit J·kg-1 ·K-1 640
Sublimatietemperatuur 2700
Flexurale kracht MPa (RT 4-punts) 415
Young's Modulus Gpa (4pt bocht, 1300℃) 430
Thermische uitzetting (CTE) 10-6K-1 4.5
Thermische geleidbaarheid (W/mK) 300
Semicera-werkplaats
Semicera-werkplaats 2
Uitrustingsmachine
CNN-verwerking, chemische reiniging, CVD-coating
Onze service

  • Vorig:
  • Volgende: