Isostatische PECVD grafietboot

Korte beschrijving:

Isostatische PECVD-grafietboot wordt veel gebruikt in verschillende schakels van de halfgeleiderproductie, zoals de afzetting van polysiliciumfilm, afzetting van oxidefilm, afzetting van nitridefilm, enz. Zijn uitstekende prestaties maken het tot een ideale waferdrager in het PECVD-proces.

Stuur een e-mail naar ons

Productdetail

Productlabels

SEMICERA isostatische PECVD-grafietboot is een grafietproduct met hoge zuiverheid en hoge dichtheid, ontworpen voor waferondersteuning in het PECVD-proces (plasma verbeterde chemische dampdepositie). SEMICERA maakt gebruik van geavanceerde isostatische perstechnologie om ervoor te zorgen dat de grafietboot een uitstekende weerstand tegen hoge temperaturen, corrosieweerstand, maatvastheid en goede thermische geleidbaarheid heeft, wat een onmisbaar verbruiksartikel is in het productieproces van halfgeleiders.

SEMICERA isostatische PECVD grafietboot heeft de volgende voordelen:

▪ Hoge zuiverheid: het grafietmateriaal heeft een hoge zuiverheid en een laag onzuiverheidsgehalte om verontreiniging van het wafeloppervlak te voorkomen.

▪ Hoge dichtheid: Hoge dichtheid, hoge mechanische sterkte, bestand tegen hoge temperaturen en een hoog vacuümomgeving.

▪ Goede maatvastheid: Kleine maatverandering bij hoge temperatuur om processtabiliteit te garanderen.

▪ Uitstekende thermische geleidbaarheid: brengt warmte effectief over om oververhitting van de wafel te voorkomen.

▪ Sterke corrosieweerstand: Bestand tegen erosie door verschillende corrosieve gassen en plasma.

Prestatieparameter	semicera	SGL R6510	Prestatieparameter
Bulkdichtheid (g/cm3)	1,91	1,83	1,85
Buigsterkte (MPa)	63	60	49
Druksterkte (MPa)	135	130	103
Shore-hardheid (HS)	70	64	60
Thermische uitzettingscoëfficiënt (10-6/K)	85	105	130
Thermische uitzettingscoëfficiënt (10-6/K)	5,85	4.2	5,0
Weerstand (μΩm)	11-13	13	10

Voordelen van het kiezen van ons:
▪ Materiaalkeuze: Er worden zeer zuivere grafietmaterialen gebruikt om de productkwaliteit te garanderen.
▪ Verwerkingstechnologie: Er wordt gebruik gemaakt van isostatisch persen om de productdichtheid en uniformiteit te garanderen.
▪ Maataanpassing: Grafietboten van verschillende maten en vormen kunnen worden aangepast aan de behoeften van de klant.
▪ Oppervlaktebehandeling: Er is een verscheidenheid aan oppervlaktebehandelingsmethoden beschikbaar, zoals het coaten van siliciumcarbide, boornitride, enz., om aan verschillende procesvereisten te voldoen.