SiC-pintrays voor ICP-etsprocessen in de LED-industrie

Korte beschrijving:

De SiC-pintrays van Semicera voor ICP-etsprocessen in de LED-industrie zijn speciaal ontworpen om de efficiëntie en precisie bij etstoepassingen te verbeteren. Deze pintrays zijn gemaakt van hoogwaardig siliciumcarbide en bieden uitstekende thermische stabiliteit, chemische bestendigheid en mechanische sterkte. De SiC-pintrays van Semicera zijn ideaal voor de veeleisende omstandigheden van het LED-productieproces en zorgen voor uniform etsen, minimaliseren vervuiling en verbeteren de algehele procesbetrouwbaarheid, wat bijdraagt ​​aan hoogwaardige LED-productie.


Productdetail

Productlabels

Productbeschrijving

Ons bedrijf levert SiC-coatingprocesdiensten via CVD-methode op het oppervlak van grafiet, keramiek en andere materialen, zodat speciale gassen die koolstof en silicium bevatten bij hoge temperatuur reageren om SiC-moleculen met een hoge zuiverheid te verkrijgen, moleculen die worden afgezet op het oppervlak van de gecoate materialen. vormende SIC-beschermlaag.

Belangrijkste kenmerken:

1. Oxidatieweerstand op hoge temperatuur:

de oxidatieweerstand is nog steeds erg goed bij een temperatuur tot 1600 C.

2. Hoge zuiverheid: gemaakt door chemische dampafzetting onder chloreringsomstandigheden op hoge temperatuur.

3. Erosiebestendigheid: hoge hardheid, compact oppervlak, fijne deeltjes.

4. Corrosiebestendigheid: zuur, alkali, zout en organische reagentia.

Siliciumcarbide geëtste schijf (2)

Belangrijkste specificaties van CVD-SIC-coating

SiC-CVD-eigenschappen

Kristalstructuur

FCC β-fase

Dikte

g/cm³

3.21

Hardheid

Vickers-hardheid

2500

Korrelgrootte

urn

2~10

Chemische zuiverheid

%

99,99995

Warmtecapaciteit

J·kg-1 ·K-1

640

Sublimatietemperatuur

2700

Flexurale kracht

MPa (RT 4-punts)

415

Young's Modulus

Gpa (4pt bocht, 1300℃)

430

Thermische uitzetting (CTE)

10-6K-1

4.5

Thermische geleidbaarheid

(W/mK)

300

Semicera-werkplaats
Semicera-werkplaats 2
Uitrustingsmachine
CNN-verwerking, chemische reiniging, CVD-coating
Onze service

  • Vorig:
  • Volgende: