Op maat gemaakte siliciumcarbide cantileverpeddel van hoge kwaliteit

Korte beschrijving:

Semicera Semiconductor Technology Co., Ltd. is een toonaangevende leverancier die gespecialiseerd is in verbruiksartikelen voor wafers en geavanceerde halfgeleiders.Wij zijn toegewijd aan het leveren van hoogwaardige, betrouwbare en innovatieve producten voor de productie van halfgeleiders,fotovoltaïsche industrieen andere gerelateerde velden.

Onze productlijn omvat SiC/TaC-gecoate grafietproducten en keramische producten, en omvat verschillende materialen zoals siliciumcarbide, siliciumnitride en aluminiumoxide, enz.

Als vertrouwde leverancier begrijpen we het belang van verbruiksartikelen in het productieproces en streven we ernaar producten te leveren die aan de hoogste kwaliteitsnormen voldoen om aan de behoeften van onze klanten te voldoen.

 

Productdetail

Productlabels

Semicera presenteert hoogwaardig maatwerkcantileverpeddels van siliciumcarbidegemaakt om de productieprocessen van halfgeleiders te verbeteren. De innovatieveSiC-peddelHet ontwerp zorgt voor uitzonderlijke duurzaamheid en hoge thermische weerstand, waardoor het een essentieel onderdeel is voor het hanteren van wafers in uitdagende omgevingen met hoge temperaturen.

DeSiliciumcarbide peddelis gebouwd om extreme thermische cycli te weerstaan ​​en tegelijkertijd de structurele integriteit te behouden, waardoor betrouwbaar wafertransport wordt gegarandeerd tijdens kritieke fasen van de halfgeleiderproductie. Met superieure mechanische sterkte, ditwafel bootminimaliseert het risico op schade aan wafers, wat leidt tot hogere opbrengsten en consistente productiekwaliteit.

Een van de belangrijkste innovaties in Semicera's SiC-peddel ligt in de aangepaste ontwerpopties. De paddle is afgestemd op specifieke productiebehoeften en biedt flexibiliteit bij de integratie met verschillende apparatuuropstellingen, waardoor het een ideale oplossing is voor moderne fabricageprocessen. De lichtgewicht maar robuuste constructie maakt eenvoudige bediening mogelijk en vermindert de operationele stilstand, wat bijdraagt ​​aan een verbeterde efficiëntie bij de productie van halfgeleiders.

Naast de thermische en mechanische eigenschappen, is deSiliciumcarbide peddelbiedt uitstekende chemische bestendigheid, waardoor het betrouwbaar kan presteren, zelfs in agressieve chemische omgevingen. Dit maakt het bijzonder geschikt voor gebruik in processen waarbij etsen, depositie en behandeling bij hoge temperaturen betrokken zijn, waarbij het behoud van de integriteit van de waferboot cruciaal is voor het garanderen van hoogwaardige resultaten.

 

Fysische eigenschappen van herkristalliseerd siliciumcarbide

Eigendom

Typische waarde

Werktemperatuur (°C)

1600°C (met zuurstof), 1700°C (reducerende omgeving)

SiC-inhoud

> 99,96%

Gratis Si-inhoud

< 0,1%

Bulkdichtheid

2,60-2,70 g/cm33

Schijnbare porositeit

< 16%

Compressie sterkte

> 600 MPa

Koude buigsterkte

80-90 MPa (20°C)

Hete buigsterkte

90-100 MPa (1400°C)

Thermische uitzetting @1500°C

4,70 10-6/°C

Thermische geleidbaarheid @1200°C

23 W/m•K

Elasticiteitsmodulus

240 GPa

Bestand tegen thermische schokken

Zeer goed

Cantileverpeddel (21)
Cantileverpeddel (20)
fd658ca43ee41331d035aad94b7a9cc
Semicera-werkplaats
Semicera-werkplaats 2
Uitrustingsmachine
CNN-verwerking, chemische reiniging, CVD-coating
Semicera Warenhuis
Onze service

  • Vorig:
  • Volgende: