Semicera presenteert hoogwaardig maatwerkcantileverpeddels van siliciumcarbidegemaakt om de productieprocessen van halfgeleiders te verbeteren. De innovatieveSiC-peddelHet ontwerp zorgt voor uitzonderlijke duurzaamheid en hoge thermische weerstand, waardoor het een essentieel onderdeel is voor het hanteren van wafers in uitdagende omgevingen met hoge temperaturen.
DeSiliciumcarbide peddelis gebouwd om extreme thermische cycli te weerstaan en tegelijkertijd de structurele integriteit te behouden, waardoor betrouwbaar wafertransport wordt gegarandeerd tijdens kritieke fasen van de halfgeleiderproductie. Met superieure mechanische sterkte, ditwafel bootminimaliseert het risico op schade aan wafers, wat leidt tot hogere opbrengsten en consistente productiekwaliteit.
Een van de belangrijkste innovaties in Semicera's SiC-peddel ligt in de aangepaste ontwerpopties. De paddle is afgestemd op specifieke productiebehoeften en biedt flexibiliteit bij de integratie met verschillende apparatuuropstellingen, waardoor het een ideale oplossing is voor moderne fabricageprocessen. De lichtgewicht maar robuuste constructie maakt eenvoudige bediening mogelijk en vermindert de operationele stilstand, wat bijdraagt aan een verbeterde efficiëntie bij de productie van halfgeleiders.
Naast de thermische en mechanische eigenschappen, is deSiliciumcarbide peddelbiedt uitstekende chemische bestendigheid, waardoor het betrouwbaar kan presteren, zelfs in agressieve chemische omgevingen. Dit maakt het bijzonder geschikt voor gebruik in processen waarbij etsen, depositie en behandeling bij hoge temperaturen betrokken zijn, waarbij het behoud van de integriteit van de waferboot cruciaal is voor het garanderen van hoogwaardige resultaten.
Fysische eigenschappen van herkristalliseerd siliciumcarbide | |
Eigendom | Typische waarde |
Werktemperatuur (°C) | 1600°C (met zuurstof), 1700°C (reducerende omgeving) |
SiC-inhoud | > 99,96% |
Gratis Si-inhoud | < 0,1% |
Bulkdichtheid | 2,60-2,70 g/cm33 |
Schijnbare porositeit | < 16% |
Compressie sterkte | > 600 MPa |
Koude buigsterkte | 80-90 MPa (20°C) |
Hete buigsterkte | 90-100 MPa (1400°C) |
Thermische uitzetting @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Thermische geleidbaarheid @1200°C | 23 W/m•K |
Elasticiteitsmodulus | 240 GPa |
Bestand tegen thermische schokken | Zeer goed |