Zeer zuivere SiC-drager/-houder

Uitgelichte afbeelding van SiC-drager/-houder met hoge zuiverheid

Korte beschrijving:

Siliciumcarbide-lagerschijf is ook bekend als SIC-lade, siliciumcarbide-etsschijf, ICP-etsschijf. Siliciumcarbidebak voor LED-etsen (SiC-bak) φ600mm is een speciaal accessoire voor diep siliciumetsen (ICP-etsmachine).

Stuur een e-mail naar ons

Productdetail

Productlabels

Beschrijving

Siliciumcarbide-keramiek heeft uitstekende mechanische eigenschappen bij kamertemperatuur, zoals hoge sterkte, hoge hardheid, hoge elasticiteitsmodulus, enz., Het heeft ook uitstekende stabiliteit bij hoge temperaturen, zoals hoge thermische geleidbaarheid, lage thermische uitzettingscoëfficiënt en goede specifieke stijfheid en optische eigenschappen. verwerkingsprestaties.
Ze zijn vooral geschikt voor het produceren van precisie-keramische onderdelen voor apparatuur met geïntegreerde schakelingen, zoals lithografiemachines, die voornamelijk worden gebruikt voor de vervaardiging van de SiC-drager / susceptor, SiC-waferboot, zuigschijf, waterkoelplaat, precisiemeetreflector, rooster en andere keramische structurele onderdelen

vervoerder2

vervoerder3

vervoerder4

Voordelen

Bestand tegen hoge temperaturen: normaal gebruik bij 1800 ℃
Hoge thermische geleidbaarheid: gelijkwaardig aan grafietmateriaal
Hoge hardheid: hardheid komt op de tweede plaats na diamant, boornitride
Corrosiebestendigheid: sterk zuur en alkali hebben geen corrosie, de corrosieweerstand is beter dan wolfraamcarbide en aluminiumoxide
Lichtgewicht: lage dichtheid, dichtbij aluminium
Geen vervorming: lage thermische uitzettingscoëfficiënt
Thermische schokbestendigheid: het is bestand tegen scherpe temperatuurveranderingen, is bestand tegen thermische schokken en heeft stabiele prestaties
Siliciumcarbidedrager zoals sic-etsdrager, ICP-etskroes, worden veel gebruikt in halfgeleider-CVD, vacuümsputteren enz. We kunnen klanten voorzien van op maat gemaakte wafeldragers van silicium- en siliciumcarbidematerialen om aan verschillende toepassingen te voldoen.

Voordelen

Eigendom	Waarde	Methode
Dikte	3,21 g/cc	Zink-float en dimensie
Specifieke warmte	0,66 J/g °K	Gepulseerde laserflits
Buigsterkte	450 MPa560 MPa	4-puntsbocht, RT4-puntsbocht, 1300°
Breuktaaiheid	2,94 MPa m1/2	Micro-inspringing
Hardheid	2800	Vicker's, 500 gram lading
Elasticiteitsmodulus Young's modulus	450 GPa430 GPa	4 pt bocht, RT4 pt bocht, 1300 °C
Korrelgrootte	2 – 10 µm	SEM

Bedrijfsprofiel

WeiTai Energy Technology Co., Ltd. is een toonaangevende leverancier van geavanceerde halfgeleiderkeramiek en de enige fabrikant in China die tegelijkertijd hoogzuiver siliciumcarbide-keramiek (vooral herkristalliseerd SiC) en CVD SiC-coating kan leveren. Daarnaast zet ons bedrijf zich ook in voor keramische velden zoals aluminiumoxide, aluminiumnitride, zirkoniumoxide en siliciumnitride, enz.

Onze belangrijkste producten, waaronder: etsschijf van siliciumcarbide, sleepboot van siliciumcarbide, wafelboot van siliciumcarbide (fotovoltaïsche en halfgeleider), ovenbuis van siliciumcarbide, cantileverpeddel van siliciumcarbide, klauwplaten van siliciumcarbide, balk van siliciumcarbide, evenals de CVD SiC-coating en TaC coating. De producten die voornamelijk worden gebruikt in de halfgeleider- en fotovoltaïsche industrie, zoals apparatuur voor kristalgroei, epitaxie, ets-, verpakkings-, coating- en diffusieovens, enz.
ongeveer (2)