Bulk CVD SiC-ring

Korte beschrijving:

Bulk-CVD SiC-ringen gebruiken siliciumbrongas (zoals siliciumhydride) en koolstofbrongas (zoals methaan) als grondstoffen, en reageren bij hoge temperatuur om SiC-materialen van grote grootte op een substraat of mal af te zetten. Met dit proces kan SiC gelijkmatig over een groot gebied worden afgezet, waardoor een sterke en consistente ringstructuur ontstaat.

Stuur een e-mail naar ons

Productdetail

Productlabels

Waarom is een siliciumcarbide-etsring?

RTPCVD SiC-ringenworden veel gebruikt op industriële en wetenschappelijke gebieden in omgevingen met hoge temperaturen en corrosie. Het speelt een belangrijke rol in de productie van halfgeleiders, opto-elektronica, precisiemachines en de chemische industrie. Specifieke toepassingen zijn onder meer:

1. Productie van halfgeleiders:RTP CVD SiC-ringenkan worden gebruikt voor het verwarmen en koelen van halfgeleiderapparatuur, waardoor een stabiele temperatuurregeling wordt geboden en de nauwkeurigheid en consistentie van het proces worden gegarandeerd.

2. Opto-elektronica: vanwege zijn uitstekende thermische geleidbaarheid en hoge temperatuurbestendigheid is RTPCVD SiC-ringenkan worden gebruikt als ondersteunings- en warmteafvoermateriaal voor lasers, glasvezelcommunicatieapparatuur en optische componenten.

3. Precisiemachines: RTP CVD SiC-ringen kunnen worden gebruikt voor precisie-instrumenten en apparatuur in omgevingen met hoge temperaturen en corrosieve omstandigheden, zoals hogetemperatuurovens, vacuümapparaten en chemische reactoren.

4. Chemische industrie: Vanwege de corrosieweerstand en chemische stabiliteit kunnen RTP CVD SiC-ringen worden gebruikt in containers, pijpen en reactoren bij chemische reacties en katalytische processen.

Epi-systeem

RTP-systeem

CVD-systeem

Productprestaties:

1. Maak kennis met het proces onder 28 nm

2. Super corrosieweerstand

3. Superschone prestaties

4. Superhardheid

5. Hoge dichtheid

6. Bestand tegen hoge temperaturen

7. Slijtvastheid

Producttoepassing:

Siliciumcarbidematerialen hebben de kenmerken van hoge hardheid, slijtvastheid, corrosieweerstand en hoge temperatuurstabiliteit. Producten met uitstekende uitgebreide prestaties worden veel gebruikt in droogets- en TF/diffusieprocessen.