Blauw/groene LED-epitaxy van semicera biedt geavanceerde oplossingen voor hoogwaardige LED-productie. Ontworpen om geavanceerde epitaxiale groeiprocessen te ondersteunen, verbetert semicera's blauw/groene LED-epitaxietechnologie de efficiëntie en precisie bij het produceren van blauwe en groene LED's, cruciaal voor verschillende opto-elektronische toepassingen. Deze oplossing maakt gebruik van de modernste Si Epitaxy en SiC Epitaxy en garandeert uitstekende kwaliteit en duurzaamheid.
In het productieproces speelt MOCVD Susceptor een cruciale rol, samen met componenten zoals PSS Etching Carrier, ICP Etching Carrier en RTP Carrier, die de epitaxiale groeiomgeving optimaliseren. Semicera's blauw/groene LED-epitaxy is ontworpen om stabiele ondersteuning te bieden voor LED Epitaxiale Susceptor, Barrel Susceptor en Monokristallijn Silicium, waardoor de productie van consistente, hoogwaardige resultaten wordt gegarandeerd.
Dit epitaxieproces is essentieel voor het maken van fotovoltaïsche onderdelen en ondersteunt toepassingen zoals GaN op SiC Epitaxie, waardoor de algehele halfgeleiderefficiëntie wordt verbeterd. Of het nu in een Pancake Susceptor-configuratie is of in andere geavanceerde opstellingen wordt gebruikt, de blauw/groene LED-epitaxy-oplossingen van semicera bieden betrouwbare prestaties en helpen fabrikanten te voldoen aan de groeiende vraag naar hoogwaardige LED-componenten.
Belangrijkste kenmerken:
1. Oxidatieweerstand op hoge temperatuur:
de oxidatieweerstand is nog steeds erg goed bij een temperatuur tot 1600 C.
2. Hoge zuiverheid: gemaakt door chemische dampafzetting onder chloreringsomstandigheden op hoge temperatuur.
3. Erosiebestendigheid: hoge hardheid, compact oppervlak, fijne deeltjes.
4. Corrosiebestendigheid: zuur, alkali, zout en organische reagentia.
Belangrijkste specificaties vanCVD-SIC-coating
| SiC-CVD-eigenschappen | ||
| Kristalstructuur | FCC β-fase | |
| Dikte | g/cm³ | 3.21 |
| Hardheid | Vickers-hardheid | 2500 |
| Korrelgrootte | urn | 2~10 |
| Chemische zuiverheid | % | 99,99995 |
| Warmtecapaciteit | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
| Sublimatietemperatuur | ℃ | 2700 |
| Flexurale kracht | MPa (RT 4-punts) | 415 |
| Young's Modulus | Gpa (4pt bocht, 1300℃) | 430 |
| Thermische uitzetting (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| Thermische geleidbaarheid | (W/mK) | 300 |
