6 inch N-type SiC-substraat

Korte beschrijving:

Semicera biedt een breed assortiment 4H-8H SiC-wafels. Wij zijn al jaren fabrikant en leverancier van producten voor de halfgeleider- en fotovoltaïsche industrie. Onze belangrijkste producten zijn onder meer: ​​etsplaten van siliciumcarbide, boottrailers van siliciumcarbide, waferboten van siliciumcarbide (PV en halfgeleider), ovenbuizen van siliciumcarbide, vrijdragende peddels van siliciumcarbide, klauwplaten van siliciumcarbide, balken van siliciumcarbide, evenals CVD SiC-coatings en TaC-coatings. Bestrijkt de meeste Europese en Amerikaanse markten. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te zijn.

 

Productdetail

Productlabels

Siliciumcarbide (SiC) eenkristalmateriaal heeft een grote bandbreedte (~Si 3 keer), hoge thermische geleidbaarheid (~Si 3,3 keer of GaAs 10 keer), hoge elektronenverzadigingsmigratiesnelheid (~Si 2,5 keer), hoge elektrische doorslag veld (~Si 10 keer of GaAs 5 keer) en andere uitstekende kenmerken.

De halfgeleidermaterialen van de derde generatie omvatten voornamelijk SiC, GaN, diamant, enz., omdat de bandbreedte (Eg) ervan groter is dan of gelijk is aan 2,3 elektronvolt (eV), ook bekend als halfgeleidermaterialen met grote bandafstand. Vergeleken met de halfgeleidermaterialen van de eerste en tweede generatie hebben de halfgeleidermaterialen van de derde generatie de voordelen van hoge thermische geleidbaarheid, hoog elektrisch doorslagveld, hoge verzadigde elektronenmigratiesnelheid en hoge bindingsenergie, die kunnen voldoen aan de nieuwe eisen van moderne elektronische technologie voor hoge temperatuur, hoog vermogen, hoge druk, hoge frequentie en stralingsweerstand en andere zware omstandigheden. Het heeft belangrijke toepassingsmogelijkheden op het gebied van de nationale defensie, luchtvaart, ruimtevaart, olie-exploratie, optische opslag, enz., en kan het energieverlies met meer dan 50% verminderen in veel strategische industrieën zoals breedbandcommunicatie, zonne-energie, autoproductie, halfgeleiderverlichting en smart grid, en kan het apparatuurvolume met meer dan 75% verminderen, wat van cruciaal belang is voor de ontwikkeling van menselijke wetenschap en technologie.

Semicera Energy kan klanten voorzien van hoogwaardig geleidend (geleidend), semi-isolerend (semi-isolerend), HPSI (high purity semi-isolerend) siliciumcarbidesubstraat; Daarnaast kunnen we klanten voorzien van homogene en heterogene epitaxiale platen van siliciumcarbide; We kunnen de epitaxiale plaat ook aanpassen aan de specifieke behoeften van klanten, en er is geen minimale bestelhoeveelheid.

Artikelen

Productie

Onderzoek

Dummie

Kristalparameters

Polytype

4H

Fout in oppervlakteoriëntatie

<11-20 >4±0,15°

Elektrische parameters

Doteringsmiddel

n-type stikstof

Weerstand

0,015-0,025 ohm·cm

Mechanische parameters

Diameter

150,0 ± 0,2 mm

Dikte

350±25 μm

Primaire vlakke oriëntatie

[1-100]±5°

Primaire platte lengte

47,5 ± 1,5 mm

Secundaire flat

Geen

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm (5 mm * 5 mm)

≤5 μm (5 mm * 5 mm)

≤10 μm (5 mm * 5 mm)

Boog

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Verdraaien

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Voorste (Si-gezicht) ruwheid (AFM)

Ra≤0,2 nm (5μm*5μm)

Structuur

Dichtheid van de micropijp

<1 stuk/cm2

<10 stuks/cm2

<15 stuks/cm2

Metaalonzuiverheden

≤5E10 atomen/cm2

NA

BPD

≤1500 e/cm2

≤3000 e/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 e/cm2

NA

Front kwaliteit

Voorkant

Si

Oppervlakteafwerking

Si-face CMP

Deeltjes

≤60ea/wafeltje (size≥0.3μm)

NA

Krassen

≤5ea/mm. Cumulatieve lengte ≤Diameter

Cumulatieve lengte≤2*Diameter

NA

Sinaasappelschil/putten/vlekken/strepen/scheuren/verontreiniging

Geen

NA

Randchips/inkepingen/breuk/zeskantplaten

Geen

Polytype-gebieden

Geen

Cumulatief gebied≤20%

Cumulatief gebied≤30%

Lasermarkering aan de voorkant

Geen

Terug Kwaliteit

Afwerking achterkant

C-face CMP

Krassen

≤5ea/mm, cumulatieve lengte≤2*Diameter

NA

Rugdefecten (randchips/inkepingen)

Geen

Ruwheid van de rug

Ra≤0,2 nm (5μm*5μm)

Lasermarkering op de achterkant

1 mm (vanaf bovenrand)

Rand

Rand

Afschuining

Verpakking

Verpakking

Epi-ready met vacuümverpakking

Verpakking met meerdere wafercassettes

*Opmerkingen: "NA" betekent geen verzoek. Niet genoemde items kunnen verwijzen naar SEMI-STD.

tech_1_2_grootte
SiC-wafels

Semicera-werkplaats Semicera-werkplaats 2 Uitrustingsmachine CNN-verwerking, chemische reiniging, CVD-coating Onze service


  • Vorig:
  • Volgende: