41 stuks 4 inch MOCVD-apparatuuronderdelen op grafietbasis

Korte beschrijving:

Productintroductie en gebruik: 41 stuks substraat van 4 uur geplaatst, gebruikt voor het kweken van LED met blauwgroene epitaxiale film

Apparaatlocatie van het product: in de reactiekamer, in direct contact met de wafer

Belangrijkste downstream-producten: LED-chips

Belangrijkste eindmarkt: LED


Productdetail

Productlabels

Beschrijving

Ons bedrijf biedtSiC-coatingprocesdiensten via CVD-methode op het oppervlak van grafiet, keramiek en andere materialen, zodat speciale gassen die koolstof en silicium bevatten bij hoge temperatuur reageren om SiC-moleculen met een hoge zuiverheid te verkrijgen, moleculen die op het oppervlak van de gecoate materialen worden afgezet en eenSiC-beschermlaag.

41 stuks 4 inch MOCVD-apparatuuronderdelen op grafietbasis

Belangrijkste kenmerken

1. Oxidatieweerstand op hoge temperatuur:
de oxidatieweerstand is nog steeds erg goed als de temperatuur maar liefst 1600 ℃ bedraagt.
2. Hoge zuiverheid: gemaakt door chemische dampafzetting onder chloreringsomstandigheden op hoge temperatuur.
3. Erosiebestendigheid: hoge hardheid, compact oppervlak, fijne deeltjes.
4. Corrosiebestendigheid: zuur, alkali, zout en organische reagentia.

 

Belangrijkste specificaties van CVD-SIC-coating

SiC-CVD-eigenschappen
Kristalstructuur FCC β-fase
Dikte g/cm³ 3.21
Hardheid Vickers-hardheid 2500
Korrelgrootte urn 2~10
Chemische zuiverheid % 99,99995
Warmtecapaciteit J·kg-1 ·K-1 640
Sublimatietemperatuur 2700
Flexurale kracht MPa (RT 4-punts) 415
Young's Modulus Gpa (4pt bocht, 1300℃) 430
Thermische uitzetting (CTE) 10-6K-1 4.5
Thermische geleidbaarheid (W/mK) 300
Semicera-werkplaats
Semicera-werkplaats 2
Uitrustingsmachine
CNN-verwerking, chemische reiniging, CVD-coating
Semicera Warenhuis
Onze service

  • Vorig:
  • Volgende: