2~6 inch 4° off-angle P-type 4H-SiC-substraat

Korte beschrijving:

‌4° off-angle P-type 4H-SiC-substraat‌ is een specifiek halfgeleidermateriaal, waarbij “4° off-angle” verwijst naar de kristaloriëntatiehoek van de wafer die 4 graden off-angle is, en “P-type” verwijst naar het geleidbaarheidstype van de halfgeleider. Dit materiaal heeft belangrijke toepassingen in de halfgeleiderindustrie, vooral op het gebied van vermogenselektronica en hoogfrequente elektronica.


Productdetail

Productlabels

Semicera's 2~6 inch 4° off-angle P-type 4H-SiC-substraten zijn ontworpen om te voldoen aan de groeiende behoeften van fabrikanten van krachtige stroom- en RF-apparaten. De oriëntatie onder een hoek van 4° zorgt voor een geoptimaliseerde epitaxiale groei, waardoor dit substraat een ideale basis is voor een reeks halfgeleiderapparaten, waaronder MOSFET's, IGBT's en diodes.

Dit 2~6 inch 4° off-angle P-type 4H-SiC-substraat heeft uitstekende materiaaleigenschappen, waaronder een hoge thermische geleidbaarheid, uitstekende elektrische prestaties en uitstekende mechanische stabiliteit. De oriëntatie buiten de hoek helpt de dichtheid van de micropijpen te verminderen en bevordert gladdere epitaxiale lagen, wat van cruciaal belang is voor het verbeteren van de prestaties en betrouwbaarheid van het uiteindelijke halfgeleiderapparaat.

Semicera's 2~6 inch 4° off-angle P-type 4H-SiC-substraten zijn verkrijgbaar in verschillende diameters, variërend van 2 inch tot 6 inch, om aan verschillende productievereisten te voldoen. Onze substraten zijn nauwkeurig ontworpen om uniforme dopingniveaus en hoogwaardige oppervlakte-eigenschappen te bieden, zodat elke wafer voldoet aan de strenge specificaties die vereist zijn voor geavanceerde elektronische toepassingen.

Semicera's toewijding aan innovatie en kwaliteit zorgt ervoor dat onze 2~6 inch 4° off-angle P-type 4H-SiC-substraten consistente prestaties leveren in een breed scala aan toepassingen, van vermogenselektronica tot hoogfrequente apparaten. Dit product biedt een betrouwbare oplossing voor de volgende generatie energiezuinige, hoogwaardige halfgeleiders en ondersteunt technologische vooruitgang in sectoren zoals de automobielsector, telecommunicatie en hernieuwbare energie.

Maatgerelateerde normen

Maat

2-inch

4 inch

Diameter 50,8 mm±0,38 mm 100,0 mm+0/-0,5 mm
Oppervlakteoriëntatie 4°richting<11-20>±0,5° 4°richting<11-20>±0,5°
Primaire platte lengte 16,0 mm ± 1,5 mm 32,5 mm ± 2 mm
Secundaire platte lengte 8,0 mm±1,5 mm 18,0 mm ± 2 mm
Primaire vlakke oriëntatie Parallel aan <11-20>±5,0° Parallel aan<11-20>±5,0c
Secundaire vlakke oriëntatie 90°CW vanaf primair ± 5,0°, siliciumzijde naar boven 90°CW vanaf primair ± 5,0°, siliciumzijde naar boven
Oppervlakteafwerking C-vlak: optisch polijstmiddel, Si-vlak: CMP C-vlak: optisch gepolijst, Si-vlak: CMP
Wafer rand Afschuining Afschuining
Oppervlakteruwheid Si-vlak Ra<0,2 nm Si-vlak Ra<0,2 nm
Dikte 350,0 ± 25,0um 350,0 ± 25,0um
Polytype 4H 4H
Doping p-type p-type

Maatgerelateerde normen

Maat

6 inch
Diameter 150,0 mm+0/-0,2 mm
Oppervlakteoriëntatie 4°richting<11-20>±0,5°
Primaire platte lengte 47,5 mm ± 1,5 mm
Secundaire platte lengte Geen
Primaire vlakke oriëntatie Parallel aan <11-20>±5,0°
Secundaire vlakke oriëntatie 90°CW vanaf primair ± 5,0°, siliciumzijde naar boven
Oppervlakteafwerking C-vlak: optisch polijstmiddel, Si-vlak: CMP
Wafer rand Afschuining
Oppervlakteruwheid Si-vlak Ra<0,2 nm
Dikte 350,0 ± 25,0 μm
Polytype 4H
Doping p-type

Raman

2-6 inch 4° schuine P-type 4H-SiC substraat-3

Schommelende bocht

2-6 inch 4° schuine P-type 4H-SiC substraat-4

Dislocatiedichtheid (KOH-etsen)

2-6 inch 4° schuine P-type 4H-SiC substraat-5

KOH-etsafbeeldingen

2-6 inch 4° schuine P-type 4H-SiC substraat-6
SiC-wafels

  • Vorig:
  • Volgende: