Semicera's10x10 mm niet-polair M-vlak aluminium substraatis zorgvuldig ontworpen om te voldoen aan de veeleisende eisen van geavanceerde opto-elektronische toepassingen. Dit substraat heeft een niet-polaire M-vlakoriëntatie, wat van cruciaal belang is voor het verminderen van polarisatie-effecten in apparaten zoals LED's en laserdiodes, wat leidt tot verbeterde prestaties en efficiëntie.
De10x10 mm niet-polair M-vlak aluminium substraatis vervaardigd met uitzonderlijke kristallijne kwaliteit, waardoor minimale defectdichtheden en superieure structurele integriteit worden gegarandeerd. Dit maakt het een ideale keuze voor de epitaxiale groei van hoogwaardige III-nitridefilms, die essentieel zijn voor de ontwikkeling van opto-elektronische apparaten van de volgende generatie.
De precisie-engineering van Semicera zorgt ervoor dat elk10x10 mm niet-polair M-vlak aluminium substraatbiedt consistente dikte en vlakheid van het oppervlak, die cruciaal zijn voor uniforme filmafzetting en fabricage van apparaten. Bovendien maakt het compacte formaat van het substraat het geschikt voor zowel onderzoeks- als productieomgevingen, waardoor flexibel gebruik in een verscheidenheid aan toepassingen mogelijk is. Met zijn uitstekende thermische en chemische stabiliteit biedt dit substraat een betrouwbare basis voor de ontwikkeling van geavanceerde opto-elektronische technologieën.
| Artikelen | Productie | Onderzoek | Dummie |
| Kristalparameters | |||
| Polytype | 4H | ||
| Fout in oppervlakteoriëntatie | <11-20 >4±0,15° | ||
| Elektrische parameters | |||
| Doteringsmiddel | n-type stikstof | ||
| Weerstand | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
| Mechanische parameters | |||
| Diameter | 150,0 ± 0,2 mm | ||
| Dikte | 350±25 μm | ||
| Primaire vlakke oriëntatie | [1-100]±5° | ||
| Primaire platte lengte | 47,5 ± 1,5 mm | ||
| Secundaire flat | Geen | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5 mm * 5 mm) | ≤5 μm (5 mm * 5 mm) | ≤10 μm (5 mm * 5 mm) |
| Boog | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Verdraaien | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Voorste (Si-gezicht) ruwheid (AFM) | Ra≤0,2 nm (5μm*5μm) | ||
| Structuur | |||
| Dichtheid van de micropijp | <1 stuk/cm2 | <10 stuks/cm2 | <15 stuks/cm2 |
| Metaalonzuiverheden | ≤5E10 atomen/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 e/cm2 | ≤3000 e/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 e/cm2 | NA |
| Front kwaliteit | |||
| Voorkant | Si | ||
| Oppervlakteafwerking | Si-face CMP | ||
| Deeltjes | ≤60ea/wafeltje (size≥0.3μm) | NA | |
| Krassen | ≤5ea/mm. Cumulatieve lengte ≤Diameter | Cumulatieve lengte≤2*Diameter | NA |
| Sinaasappelschil/putten/vlekken/strepen/scheuren/verontreiniging | Geen | NA | |
| Randchips/inkepingen/breuk/zeskantplaten | Geen | ||
| Polytype-gebieden | Geen | Cumulatief gebied≤20% | Cumulatief gebied≤30% |
| Lasermarkering aan de voorkant | Geen | ||
| Terug Kwaliteit | |||
| Afwerking achterkant | C-face CMP | ||
| Krassen | ≤5ea/mm, cumulatieve lengte≤2*Diameter | NA | |
| Rugdefecten (randchips/inkepingen) | Geen | ||
| Ruwheid van de rug | Ra≤0,2 nm (5μm*5μm) | ||
| Lasermarkering op de achterkant | 1 mm (vanaf bovenrand) | ||
| Rand | |||
| Rand | Afschuining | ||
| Verpakking | |||
| Verpakking | Epi-ready met vacuümverpakking Verpakking met meerdere wafercassettes | ||
| *Opmerkingen: "NA" betekent geen verzoek. Niet genoemde items kunnen verwijzen naar SEMI-STD. | |||
