Introductie van waferdrager
PRODUCTCATAGORIE
▶Waferdragersysteem voor PECVD- en TALOX-proces
• PECVD & TALOX grafietboot (M4~M12)
• Verticale SM-boot (M4, M6)
• Implantaat en douche Grafietonderdeel (M4~M6)
• C/C-lade en keramische coating
• Metalen RIE-tray en keramische coating
• Vacuümafdichting: O-ring en SQ-ring
▶Overdrachtproces voor texturen en nat etsen
• LSC H-drager of cassette (M4~M12)
• LSC V-drager of cassette (M4~M12)
• ASC-drager of cassette (M4, M6)
• Met drager en opbergdoos (M4~M12)
• Serie transportwielen (rollers).
▶Zonneceldrager en metalen drager
• TRC Drager of cassette (M4~M12)
• Magazijn (met RIEM)
GRAFIET BOOT (H-type)
19P6-216CT (WF M4~M12)
GRAFIET BOOT (H-type)
21P6-240CT WF M4~M12)
GRAFIET BOOT (H-type)
23P7-308CT(W/F M4~M12)
GRAFIET BOOT (H-type)
22P/7-294TP (W/V M4~M12)
GRAFIET BOOT (H-type)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
WF DRAGER & OPSLAGDOOS (~M12)
C/C LADE of DRAGER (M4~M10)
C/C LADE of DRAGER (M4~M10)
VERTICALE BOOT (SM) M6
LSC-H-DRAGER (~M12)
LSC-V-DRAGER (~M12)
ASC-DRAGER (~M6)
TRC-DRAGER (~M12)
TRC-DRAGER (~M12)
GRAFIET-BOOT (M12)
Waferdragersysteem voor PECVD-proces
▶ GRAFIETBOOT (CT-ontworpen) M10/M12-proces
• SPECIAAL ONTWERPCONCEPT
▶ GRAFIETBOOT (CT-ontworpen) M4/M6-proces
▶ BOOTaccessoires
▶ VERTICALE BOOT - WAFER VAN 161,7 mm
▶ VERTICALE BOOT-166 mm WAFER
▶ VERTICALE BOOT - 161,7 mm, 166 mm WAFER
Zonneceldrager en metalen TRC-drager
TYPE: Automatisering
WAFELTJESFORMAAT: ① 156×156MM ② 156,75×156,75MM
③161,7x161,7MM ④166x166MM
⑤ 180×180 mm ⑥ 210×210 mm
GEBRUIK: Dragen (Cassette)
CAPACITEIT: 100 vel
HOOGTE: 4,76 MM/5,953 mm/6,35 mm
AFMETINGEN: Ongeveer 559×220×220MM
Ongeveer 712×260×260MM
VOORDEEL: Sfeer
MATERIAAL: VLAM,ZIJBAR-Aluminium (anodiseren)
ZIJPLAAT-POM (Antistatisch)
Afdekking onderlat-EPDM/PU/VITON (ASE)
TRC-METALEN DRAGER (U'SER LIJN)
TRC-METALEN DRAGER (U'SER LIJN)
TRC-METALEN DRAGER (U'SER LIJN)
DOUCHEPLAAT & IMPLANTAAT, DRAGER
