SiC-paddle in de productie van halfgeleiders

Op het gebied van de halfgeleiderproductie is deSiC-peddelspeelt een cruciale rol, vooral in het epitaxiale groeiproces. Als een belangrijk onderdeel dat wordt gebruikt inMOCVD(Metal Organic Chemical Vapour Deposition) systemen,SiC-peddelszijn ontworpen om hoge temperaturen en chemisch zware omstandigheden te doorstaan, waardoor ze onmisbaar zijn voor geavanceerde productie. Bij Semicera zijn we gespecialiseerd in het produceren van hoogwaardige productenSiC-peddelsontworpen voor beideSi epitaxieEnSiC-epitaxieen biedt uitzonderlijke duurzaamheid en thermische stabiliteit.

Het gebruik van SiC-peddels komt vooral voor bij processen zoals epitaxiale groei, waarbij het substraat nauwkeurige thermische en chemische omstandigheden nodig heeft. Onze Semicera-producten garanderen optimale prestaties in omgevingen die eenMOCVD Susceptor, waarbij hoogwaardige siliciumcarbidelagen op substraten worden afgezet. Dit draagt ​​bij aan verbeteringwafeltjekwaliteit en hogere apparaatefficiëntie bij de productie van halfgeleiders.

Semicera'sSiC-peddelszijn niet alleen voor bedoeldSi epitaxiemaar ook op maat gemaakt voor een reeks andere kritische toepassingen. Ze zijn bijvoorbeeld compatibel met PSS Etching Carriers, essentieel bij de productie van LED-wafers, enICP-etsdragers, waar nauwkeurige ionencontrole nodig is voor het vormen van wafers. Deze peddels zijn een integraal onderdeel van systemen zoalsRTP-providers(Rapid Thermal Processing), waarbij de behoefte aan snelle temperatuurovergangen en hoge thermische geleidbaarheid van het grootste belang is.

Bovendien dienen SiC-paddles als LED-epitaxiale susceptors, waardoor de groei van zeer efficiënte LED-wafels wordt vergemakkelijkt. Het vermogen om variërende thermische en omgevingsspanningen aan te kunnen, maakt ze zeer veelzijdig in verschillende halfgeleiderfabricageprocessen.

Over het geheel genomen streeft Semicera ernaar om SiC-paddles te leveren die voldoen aan de veeleisende eisen van de moderne halfgeleiderproductie. Van SiC Epitaxy tot MOCVD Susceptors, onze oplossingen zorgen voor verbeterde betrouwbaarheid en prestaties, en voldoen aan de allernieuwste eisen van de industrie.


Posttijd: 07-sep-2024