Wat is MOCVD Susceptor?

DeMOCVDDe methode is een van de meest stabiele processen die momenteel in de industrie worden gebruikt voor het kweken van enkelvoudige kristallijne dunne films van hoge kwaliteit, zoals enkelfasige InGaN-epilagen, III-N-materialen en halfgeleiderfilms met multi-kwantumputstructuren, en is van groot belang in de vervaardiging van halfgeleider- en opto-elektronische apparaten.

DeSiC-coating MOCVD-susceptoris een gespecialiseerde waferhouder gecoat met siliciumcarbide (SiC) voorepitaxiaal groei in het proces van metaalorganische chemische dampafzetting (MOCVD).

De SiC-coating heeft een uitstekende chemische bestendigheid en thermische stabiliteit, waardoor het een ideale keuze is voor MOCVD-susceptors die worden gebruikt in veeleisende epitaxiale groeiprocessen.

Een sleutelcomponent van het MOCVD-proces is de susceptor, een sleutelelement om de uniformiteit en kwaliteit van de geproduceerde dunne films te garanderen.

Wat is een susceptor? De susceptor is een gespecialiseerd onderdeel dat in het MOCVD-proces wordt gebruikt om het substraat waarop de dunne film wordt afgezet te ondersteunen en te verwarmen. Het heeft meerdere functies, waaronder het absorberen van elektromagnetische energie, het omzetten ervan in warmte en het gelijkmatig verdelen van de warmte over het substraat. Deze uniforme verwarming is essentieel voor de groei van uniforme dunne films met nauwkeurige dikte en samenstelling.

Soorten susceptoren:
1. Grafiet susceptors: Grafiet susceptors zijn vaak gecoat met een beschermende laag zoalssiliciumcarbide (SiC), dat bekend staat om zijn hoge thermische geleidbaarheid en stabiliteit. DeSiC-coatingbiedt een hard, beschermend oppervlak dat bestand is tegen corrosie en degradatie bij hoge temperaturen.

2. Susceptoren van siliciumcarbide (SiC): Deze susceptoren zijn volledig gemaakt van SiC en hebben een uitstekende thermische stabiliteit en slijtvastheid. SiC-susceptors zijn bijzonder geschikt voor processen met hoge temperaturen en corrosieve omgevingen.

Hoe susceptoren werken bij MOCVD:

Bij het MOCVD-proces worden precursoren in de reactiekamer gebracht, waar ze ontleden en reageren om een ​​dunne film op het substraat te vormen. De susceptor speelt een cruciale rol door ervoor te zorgen dat het substraat gelijkmatig wordt verwarmd, wat van cruciaal belang is voor het bereiken van consistente filmeigenschappen over het gehele substraatoppervlak. Het materiaal en het ontwerp van de susceptor zijn zorgvuldig geselecteerd om te voldoen aan de specifieke vereisten van het afzettingsproces, zoals temperatuurbereik en chemische compatibiliteit.

Voordelen van het gebruik van hoogwaardige susceptors:
• Verbeterde filmkwaliteit: Door een uniforme warmteverdeling te bieden, helpt de susceptor films te verkrijgen met een consistente dikte en samenstelling, wat cruciaal is voor de prestaties van halfgeleiderapparaten.
• Verbeterde procesefficiëntie: hoogwaardige susceptoren verhogen de algehele efficiëntie van het MOCVD-proces door de kans op defecten te verminderen en de opbrengst aan bruikbare films te vergroten.
• Levensduur en betrouwbaarheid: Susceptors gemaakt van duurzame materialen zoals SiC zorgen voor langdurige betrouwbaarheid en verlagen de onderhoudskosten.

De susceptor is een integraal onderdeel van het MOCVD-proces en heeft rechtstreeks invloed op de kwaliteit en efficiëntie van dunnefilmafzetting. Voor meer informatie over beschikbare maten, MOCVD susceptoren en prijzen kunt u gerust contact met ons opnemen. Onze engineers adviseren u graag over geschikte materialen en beantwoorden al uw vragen.

Telefoon: +86-13373889683
WhatsAPP: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com


Posttijd: 12 augustus 2024