Hoe we de productie-verwerkingsstappen voor SiC-substraten produceren, is als volgt:
1. Kristaloriëntatie: gebruik van röntgendiffractie om de kristalstaaf te oriënteren. Wanneer een röntgenbundel op het gewenste kristalvlak wordt gericht, bepaalt de hoek van de afgebogen bundel de kristaloriëntatie.
2. Slijpen van de buitendiameter: Eenkristallen gekweekt in grafietkroezen overschrijden vaak de standaarddiameters. Door het slijpen van de buitendiameter worden ze teruggebracht tot standaardafmetingen.
3. Eindvlakslijpen: 4-inch 4H-SiC-substraten hebben doorgaans twee positioneringsranden, primair en secundair. Kopvlakslijpen opent deze positioneringsranden.
4. Draadzagen: Draadzagen is een cruciale stap bij het verwerken van 4H-SiC-substraten. Scheuren en ondergrondse schade veroorzaakt tijdens het draadzagen hebben een negatieve invloed op de daaropvolgende processen, waardoor de verwerkingstijd wordt verlengd en materiaalverlies ontstaat. De meest gebruikelijke methode is het meerdraadszagen met diamantschuurmiddel. Een heen en weer gaande beweging van metaaldraden verbonden met diamantschuurmiddelen wordt gebruikt om de 4H-SiC-staaf te snijden.
5. Afschuinen: Om randafbrokkeling te voorkomen en verliezen aan verbruiksartikelen tijdens daaropvolgende processen te verminderen, worden de scherpe randen van de draadgezaagde spanen afgeschuind in gespecificeerde vormen.
6. Uitdunnen: Draadzagen laat veel krassen en beschadigingen onder het oppervlak achter. Het verdunnen gebeurt met behulp van diamantschijven om deze gebreken zoveel mogelijk te verwijderen.
7. Slijpen: Dit proces omvat ruw slijpen en fijn slijpen met behulp van kleinere boorcarbide- of diamantschuurmiddelen om restschade en nieuwe schade die tijdens het verdunnen is ontstaan, te verwijderen.
8. Polijsten: De laatste stappen omvatten ruw polijsten en fijn polijsten met schuurmiddelen uit aluminiumoxide of siliciumoxide. De polijstvloeistof verzacht het oppervlak, dat vervolgens mechanisch wordt verwijderd door schuurmiddelen. Deze stap zorgt voor een glad en onbeschadigd oppervlak.
9. Reiniging: het verwijderen van deeltjes, metalen, oxidefilms, organische resten en andere verontreinigingen die zijn achtergebleven tijdens de verwerkingsstappen.
Posttijd: 15 mei 2024