Het droogetsproces bestaat gewoonlijk uit vier basistoestanden: vóór het etsen, gedeeltelijk etsen, alleen etsen en overetsen. De belangrijkste kenmerken zijn etssnelheid, selectiviteit, kritische dimensie, uniformiteit en eindpuntdetectie. Figuur 1 Vóór het etsen Figuur 2 Gedeeltelijk etsen Figuur...
Lees meer