Dunne films die worden gebruikt bij de productie van halfgeleiders hebben allemaal weerstand, en filmweerstand heeft een directe invloed op de prestaties van het apparaat. Meestal meten we niet de absolute weerstand van de folie, maar gebruiken we de folieweerstand om deze te karakteriseren.
Wat zijn plaatweerstand en volumeweerstand?
Volumeweerstand, ook bekend als volumeweerstand, is een inherente eigenschap van een materiaal die karakteriseert in hoeverre het materiaal de stroom van elektrische stroom belemmert. Veelgebruikt symbool ρ staat voor, de eenheid is Ω.
Velweerstand, ook wel velweerstand genoemd, de Engelse naam is velweerstand, wat verwijst naar de weerstandswaarde van de folie per oppervlakte-eenheid. Veelgebruikte symbolen Rs of ρs om uit te drukken, de eenheid is Ω/sq of Ω/□
De relatie tussen de twee is: plaatweerstand = volumeweerstand/filmdikte, dat wil zeggen Rs = ρ/t
Waarom plaatweerstand meten?
Het meten van de absolute weerstand van een film vereist nauwkeurige kennis van de geometrische afmetingen van de film (lengte, breedte, dikte), die veel variabelen kent en zeer complex is voor zeer dunne of onregelmatig gevormde films. De plaatweerstand is alleen gerelateerd aan de dikte van de folie en kan snel en direct worden getest zonder ingewikkelde maatberekeningen.
Welke films moeten de plaatweerstand meten?
Over het algemeen moeten geleidende films en halfgeleiderfilms worden gemeten op vierkante weerstand, terwijl isolerende films niet hoeven te worden gemeten.
Bij halfgeleiderdotering wordt ook de plaatweerstand van silicium gemeten.
Hoe vierkante weerstand meten?
De vier-sondemethode wordt over het algemeen in de industrie gebruikt. De methode met vier sondes kan vierkante weerstand meten, variërend van 1E-3 tot 1E+9Ω/sq. De methode met vier sondes kan meetfouten als gevolg van contactweerstand tussen de sonde en het monster voorkomen.
Meetmethoden:
1) Plaats vier lineair opgestelde sondes op het oppervlak van het monster.
2) Breng een constante stroom aan tussen de twee buitenste sondes.
3) Bepaal de weerstand door het potentiaalverschil tussen de twee interne sondes te meten
RS: bladweerstand
AV: Verandering in spanning gemeten tussen interne sondes
I: Stroom toegepast tussen buitenste sondes
Posttijd: 29 maart 2024